[实用新型]一种真空钛离子泵有效
| 申请号： | 201220203365.0 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN202595267U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 史海如;周红艳;温子阳 | 申请（专利权）人： | 湖北汉光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 王和平 |
| 地址： | 432000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空钛离子泵，由阳极组件、阴极板⑺、阴极外壳⑶、阳极引线⑴和芯柱保护筒⑽构成，阳极组件和阳极引线⑴的下端螺纹相连，阴极板⑺、阴极外壳⑶通过阴极接头⑵和芯柱保护筒⑽的下端焊接相连，阳极组件和阴极板⑺设于阴极外壳⑶内，阳极引线⑴设于芯柱保护筒⑽内，其特征在于：所述的阳极组件包括八边形的阳极外框⑹和两片呈90°的阳极骨架⑼，阳极外框⑹和阳极骨架⑼连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空钛离子泵，其特征在于：所述的阳极引线⑴的上端为L16插针或插孔。
3.根据权利要求1所述的一种真空钛离子泵，其特征在于:所述的芯柱保护筒⑽的下端和阴极接头⑵连接，上端具有电缆插头外螺纹⑷。
4.根据权利要求1所述的一种真空钛离子泵，其特征在于:所述的阳极外框⑹及阳极骨架⑼厚度均为0.3-0.4mm。
5.根据权利要求1所述的一种真空钛离子泵，其特征在于:所述的阳极引线⑴的瓷封件⑿外套有硅胶套⑾。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种真空钛离子泵，其特征在于:所述的阴极板⑺为圆形面的钛合金。
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