[实用新型]三氯氢硅合成气除尘系统

权利要求书

1.三氯氢硅合成气除尘系统，包括气固分离器（1）、喷淋塔（2）、蒸发釜（3）、液固过滤器（5），气固分离器的气体输出端（102）、蒸发釜的输入端（301）和蒸发釜的气相输出端（302）分别与喷淋塔（2）底部连接，其特征在于，所述除尘系统还包括废渣液收集装置（4），气固分离器的废渣输出端（103）和蒸发釜的渣浆输出端（303）分别与所述废渣液收集装置（4）的输入端连接，废渣液收集装置的输出端（404）与液固过滤器的输入端（502）连接。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于，液固过滤器的液体输出端（503）与所述喷淋塔（2）的塔顶连接。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,所述液固过滤器的液体输出端（503）与所述喷淋塔（2）塔顶之间还设置了输送泵（7），输送泵输入端（701）与所述液固过滤器的液体输出端（503）连接，输送泵输出端（702）与所述喷淋塔（2）塔顶连接。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于，所述废渣液收集装置（4）为具有搅拌功能的废渣液收集装置。

5.根据权利要求4所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,所述液固过滤器（5）为具有自动反吹功能的液固过滤器。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,所述液固过滤器（5）为具有自动反吹功能的液固过滤器。

7.根据权利要求1-3任意一项所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,所述气固分离器（1）由多级气固分离器构成。

8.根据权利要求7所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,所述气固分离器（1）由两级气固分离器构成。

9.根据权利要求1-3任意一项所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,所述气固分离器（1）为旋风除尘器。

10.根据权利要求1-3任意一项所述的三氯氢硅合成气除尘系统，其特征在于,液固过滤器的固体输出端（504）还连接有储罐（6）。