[实用新型]一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置

权利要求书

1.一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ，所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ（1）、吸附柱Ⅰ（2）和之间连接的管道Ⅰ（3），所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ（4）、吸附柱Ⅱ（5）和之间连接的管道Ⅱ（6），其特征在于：所述管道Ⅰ（3）和管道Ⅱ（6）通过设置带有阀门Ⅰ（8）的管道Ⅲ（7）连通；所述管道Ⅰ（3）上设置阀门Ⅱ（9），所述阀门Ⅱ（9）位于换热器Ⅰ（1）和管道Ⅲ（7）之间；所述管道Ⅱ（6）上设置阀门Ⅴ（11），所述阀门Ⅴ（11）位于换热器Ⅱ（4）和管道Ⅲ（7）之间。

2.如权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于：所述管道Ⅲ（7）为不锈钢钢管。

3.如权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于：所述管道Ⅰ（3）上设置阀门Ⅲ（10），所述阀门Ⅲ（10）位于管道Ⅲ（7）和吸附柱Ⅰ（2）之间。

4.如权利要求1或3所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于：所述管道Ⅱ（6）上设置阀门Ⅵ（12），所述阀门Ⅵ（12）位于管道Ⅲ（7）和吸附柱Ⅱ（5）之间。

5.如权利要求4所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于：所述阀门Ⅰ（8）、阀门Ⅱ（9）、阀门Ⅲ（10）、阀门Ⅴ（11）和阀门Ⅵ（12）均为球阀。

6.如权利要求5所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于：所述阀门Ⅰ（8）、阀门Ⅱ（9）、阀门Ⅲ（10）、阀门Ⅴ（11）和阀门Ⅵ（12）均为不锈钢球阀。

7.如权利要求5或6所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，其特征在于：所述阀门Ⅰ（8）与管道Ⅲ（7）采用法兰连接；所述阀门Ⅱ（9）和阀门Ⅲ（10）均与管道Ⅰ（3）采用法兰连接；所述阀门Ⅴ（11）和阀门Ⅵ（12）均与管道Ⅱ（6）采用法兰连接。