[实用新型]用于硅片制绒的化学处理槽装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片的制绒装置，更具体地，涉及用于硅片制绒的化学处理槽装置。

背景技术

随着光伏发电技术逐渐成熟，太阳能电池的应用也在蓬勃发展。制绒是太阳能电池中影响太阳能效率的重要因素。太阳能电池片的制绒，是通过化学反应在硅片表面产生各向异性腐蚀，形成密集的显微金字塔形角锥体结构的绒面，使太阳能电池片最大限度地减少光反射率，提高光电转换效率。因此，通过制绒可以有效地减少硅片对太阳光的反射作用，增加硅片对入射光的吸收，从而提高电池效率。

在大工业生产中一般采用成本较低的氢氧化钠或氢氧化钾稀溶液(浓度为1％～2％)来制备绒面。另外，为了有效地控制反应速度和绒面的大小，会添加一定量的IPA作为缓释剂和络合剂。理想的绒面效果，应该是金字塔大小均匀，覆盖整个表面。金子塔的高度在3～5μm之间，相邻金字塔之间没有空隙，具有较低的表面反射率。

目前通用的生产工艺是采用槽式制绒，在制绒过程中，将清洗后的硅片放入盛有腐蚀液的化学处理槽中，常用的化学处理槽是一般的六面体容器，如正方体或长方体等。当化学处理槽中的腐蚀液溢出时，这种结构无法避免因腐蚀液溢出而造成的污染，同时造成腐蚀液的浪费，因此需要一种改进的能承载腐蚀液的溢出液体并减小腐蚀液浪费的用于硅片制绒的化学处理槽装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种改进的用于硅片制绒的化学处理槽装置。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，所述内槽连接一外槽。

在本实用新型的一实施方式中，所述内槽和所述外槽为一整体。

在本实用新型的一实施方式中，所述内槽和所述外槽通过管道连通。

在本实用新型的一实施方式中，所述管道上设置有循环泵。

在本实用新型的一实施方式中，所述管道上还设置有一过滤器。

在本实用新型的一实施方式中，所述管道设置有液体掷出口，所述排出口位于所述内槽中。

在本实用新型的一实施方式中，所述液体排出口为两个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是通过在化学处理内槽上连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，同时，通过循环管路使外槽中的溢出液体回到内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。

附图说明

图1是常用的用于硅制绒的化学处理槽的结构示意图。

图2是本实用新型一实施方式下用于硅片制绒的化学处理槽的结构示意图。

图3是本实用新型一实施方式下用于硅片制绒的化学处理槽装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但所述实施例并不旨在限制本实用新型的保护范围。

图1所示为常用盛有腐蚀液的化学处理槽100的结构示意图。图2所示为本实用新型一实施方式下的化学处理槽的结构示意图，该化学处理槽100′包括内槽101，与内槽连接的外槽102，借以承载内槽溢出的液体。在一实施方式中，该内槽和该外槽为一整体。可替换的，该内槽与该外槽可以任何方式连接在一起，以确保连接处无液体渗漏现象。在一实施方式中，该化学处理槽为长方体结构。可替换的，该化学处理槽可以为其他任何结构的容器。如图2所示，通过在化学处理内槽101上连接一外槽102，使得化学处理内槽101中的腐蚀液溢出到外槽102中，避免了由此造成的污染。