[实用新型]一种激光多点聚焦加工系统

权利要求书

1.一种激光多点聚焦加工系统，其特征在于，该系统包括激光器（1）、扩束镜（2）、导光镜（3）、聚焦透镜（4）、第一全反射镜（6）、第二全反射镜（10）和xy两维工作台（12）；

激光器（1）、扩束镜（2）、导光镜（3）和聚焦透镜（4）依次位于同一光路上，第一全反射镜（6）、第二全反射镜（10）依次位于聚焦透镜（4）与xy两维工作台（12）之间，第一全反射镜（6）为中间开有小孔（5）的球面或非球面全反射镜，第一全反射镜（6）曲率半径小于第一全反射镜和第二全反射镜之间最小距离的一半；工作时，第一全反射镜（6）凹面向xy两维工作台（12），第一全反射镜的光轴与激光光轴重合；小孔（5）的中心与激光光轴重合；聚焦透镜（4）的位置上、下可调，第一全反射镜（6）与第二全反射镜（10）之间的距离可调，待加工透明材料（13）安装在第一全反射镜（6）和第二全反射镜（10）之间。

2.根据权利要求1所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，小孔（5）的直径大于入射至第一全反射镜（6）上的光斑直径的1.1倍。

3.根据权利要求1所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，第二全反射镜（10）镀有高反膜。

4. 根据权利要求1至3中任一所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，聚焦透镜（4）固定在第一z轴移动机构（7）上，第一全反射镜（6）固定在第二z轴移动机构（11）上，第二全反射镜（10）直接固定在xy两维工作台（12）上。

5.根据权利要求1至3中任一所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，聚焦透镜（4）和第一全反射镜（6）均固定在第一z轴移动机构（7）上，第二全反射镜（10）放置在支撑夹具（8）和xy两维工作台（12）之间并固定在第三z轴移动机构（14）上，上下移动第三z轴移动机构（14）可调节第一全反射镜（6）和第二全反射镜（10）之间距离，支撑夹具（8）的中间开有一个透光口（9）并固定在xy两维工作台（12）上，组成一个二维移动平台，支撑夹具（8）用于安放待加工透明材料（13）。

6.根据权利要求1至3中任一所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，第二全反射镜为平面或球面或非球面镜，其曲率半径大于第一焦点到第二全反射镜距离一半，第一全反射镜的曲率半径小于第一全反射镜和第二放射镜之间最小距离的一半。

7.根据权利要求4所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，第二全反射镜为平面或球面或非球面镜，其曲率半径大于第一焦点到第二全反射镜距离一半，第一全反射镜的曲率半径小于第一全反射镜和第二放射镜之间最小距离的一半。

8.根据权利要求5所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，第二全反射镜为平面或球面或非球面镜，其曲率半径大于第一焦点到第二全反射镜距离一半，第一全反射镜的曲率半径小于第一全反射镜和第二放射镜之间最小距离的一半。

9.根据权利要求4所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，第二全反射镜为球面镜或非球面镜，其曲率半径小于第一焦点到第二全反射镜距离一半，第一全反射镜的曲率半径小于第一全反射镜和第二放射镜之间最小距离的一半。

10.根据权利要求5所述的激光多点聚焦加工系统，其特征在于，第二全反射镜为球面镜或非球面镜，其曲率半径小于第一焦点到第二全反射镜距离一半，第一全反射镜的曲率半径小于第一全反射镜和第二放射镜之间最小距离的一半。