[实用新型]一种改进的氮气防护罩

说明书

技术领域

本实用新型属于防护装置领域，具体地说，涉及一种改进的氮气防护罩。

背景技术

氮气保护罩(N2 SHIELD)是常压气相沉积设备的核心部件-喷嘴的防护装置。现有的氮气保护罩，大多是由不锈钢材料制成的。它可以延缓硅烷反应后的粉尘以及玻璃残渣在喷嘴底部的形成，并且可以延长喷嘴清洗时间间隔。

但是，现有的氮气保护罩也存在一些缺陷，主要体现在氮气管和氮气罩连接的是通过螺丝将两者连接在一起。安装时因为保护罩和喷嘴之间的间隙很小，所以很容易卡住。同时，在制造过程中需要打孔攻丝，这就要求定位必须很精准，单单打孔就需要16个之多，这样就造成了加工工作手续繁复，难度大，容易出现质量问题，导致氮气保护罩的使用寿命缩短，增加了生产成本。

另外，现有的保护罩一般是平板形状，平板形状的氮气罩结构设计导致氢化物在腔体的气流也会偏大，同时在保护罩上的开孔有些偏大，导致粉尘或玻璃残渣会有更多的产生，不利于对喷嘴使用寿命延长。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服上述缺陷，提供一种结构简单、加工方便并且延长使用寿命的改进的氮气防护罩。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种改进的氮气防护罩，其特征在于：包括氮气罩，氮气罩的下端面上通过焊接方式连接有若干根氮气管。

进一步地说：

所述氮气罩呈圆弧状，氮气管设置在氮气罩的两侧下端；所述氮气罩的中心位置设置有空心圆。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型将氮气管和氮气罩连接直接用氩弧焊接，简化制造程序，节约了大量的制造成本，提高了生产效率，同时，将本实用新型设计为圆弧型，使得氮气形成交互式气流，提高了使用时的均匀性。本实用新型能够明显的减少粉尘的产生，延长了喷嘴清洗的时间间隔。

同时下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的截面结构示意图。

图中：1-氮气管；2-氮气罩；3-空心圆。

具体实施方式

实施例：

如图1所示，一种改进的氮气防护罩，包括氮气罩2，氮气罩2的下端面上通过焊接方式连接有若干根氮气管1。

在本实施例中，所述氮气罩2呈圆弧状，氮气管1设置在氮气罩2的两侧下端。这样的设计，使得氮气形成交互式气流，提高了使用时的均匀性。另外，氮气罩2的中心位置设置有空心圆3，减轻了本实用新型的重量。

本实用新型将氮气管和氮气罩连接直接用氩弧焊接，简化制造程序，节约了大量的制造成本，提高了生产效率。

另外，本实用新型的材料可以是特制的。在重新做过材料分析后，特制的材料，手感更轻，清洗更为方便快捷。

本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或者相近似的技术方案，均属于本实用新型的保护范围。