[实用新型]一种用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架有效
| 申请号： | 201220151187.1 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202547297U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 田达晰;张世波;林晓华;李刚;徐国科;王昆鹏;厉惠宏;卢峰;李自炳 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 异丙醇 干燥 pfa | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架，包括框架(9)，所述框架(9)两侧设有侧挡条(6)，其特征在于，所述侧挡条(6)通过4-6根支柱(7)支撑；所述侧挡条(6)上设有多个开口朝所述框架(9)内侧的卡槽条(5)。
2.根据权利要求1所述的用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架，其特征在于，所述卡槽条(5)之间的间距略大于硅抛光片的厚度。
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