[实用新型]一种镀膜工艺中使用的基板固定装置

权利要求书

1.一种镀膜工艺中使用的基板固定装置，至少包括本体、第一组件、第二组件，所述本体具有第二表面，所所述第二表面上设有第一结合部、第二结合部及第一接触部，所述第一结合部和第二结合部通过所述第一接触部间隔开，所述第一组件包括第三结合部、第四端面，所述第三结合部与所述第二结合部结合，所述第四端面与所述第二表面之间具有一第一夹角，所述第二组件包括第四结合部、第六端面，所述第四结合部与所述第一结合部结合，所述第六端面与所述第二表面之间具有第二夹角。

2.如权利要求1所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述第二表面呈等腰梯形，所述第一结合部、第一接触部、第二结合部均呈等腰梯形，且第一结合部的面积小于第二结合部的面积，所述第一结合部的短底边为第二表面的短底边，所述第二结合部的长底边为所述第二表面的长底边，所述第一接触部的短底边为所述第一结合部的长底边，所述第一接触部的长底边为所述第二结合部的短底边。

3.如权利要求2所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述本体还包括与所述第二表面平行的第一表面、第一端面和第二端面，且所述第一结合部的短底边位于所述第一端面上，所述第二结合部的长底边位于所述第二端面上。

4.如权利要求3所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：第二组件还包括第一顶部、第三端面，所述第三结合部亦呈等腰梯形，且与所述第二结合部具有相同的面积，并完全重合；所述第一顶部亦呈等腰梯形，所述第一顶部的长底边与所述第三结合部、第二结合部的长底边在同一平面上，所述第一顶部的长底边与所述第三结合部的长底边均在所述第三端面上，所述第四端面在所述第二表面上的投影面积小于所述第四端面的面积。

5.如权利要求4所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述第二组件还包括第二顶部、第五端面，所述第四结合部亦呈等腰梯形，且其与所述第一结合部具有相同的面积，并完全重合，所述第二顶部亦呈等腰梯形，且所述第二顶部的短底边与所述第一结合部的短底边、第四结合部的短底边在同一平面上，并均位于该第五端面上，第六端面在所述第二表面上的投影面积小于该第六端面的面积。

6.如权利要求5所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述第一组件、第二组件结合于所述本体上后，所述第四端面与第六端面相对，且形成沿垂直于第二表面方向上的喇叭形，且所述喇叭开口小的一端靠近所述第二表面，喇叭开口大的一端远离所述第二表面。

7.如权利要求6所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述基板固定装置夹持的基板具有第四表面、第五表面、第七端面，所述第四表面和第五表面之间相互平行，且所述第四表面和第五表面均为光滑的平面，第四表面和第五表面通过所述第七端面结合，且所述第四表面与所述第七端面结合形成第一结合处，第五表面与所述第七端面结合形成第二结合处；当所述第四表面与第五表面之间的间距小于所述第一接触部所呈等腰梯形的高度时，所述第七端面与所述第二表面接触，且所述第一结合处和第二结合处与所述第二表面接触；当所述第四表面与第五表面之间的间距大于所述第一接触部所呈等腰梯形的高度时，所述第一结合处与所述第六端面接触，所述第二结合处与所述第四端面接触，且所述第七端面与所述第二表面平行。

8.如权利要求7所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述第三结合部的长底边与短底边的长度差至少大于2毫米，所述第一顶部亦呈等腰梯形，且其所呈等腰梯形的高度大于等于50微米；所述第一顶部为光滑的平面，其与所述第二表面具有一第一间距，所述第二顶部亦为光滑的平面，其与所述第二表面具有第二间距，且所述第一间距与第二间距相同；所述第二端面与所述第三端面在同一平面上，所述第一端面与所述第五端面在同一平面上；所述第一夹角与所述第二夹角相同。

9.如权利要求8所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述第一组件还包括第八端面和第九端面，且所述第八端面和第九端面相对，且所述第八端面与所述第三端面之间具有一第三夹角，所述第九端面与所述第三端面之间具有一第四夹角，所述第三夹角和第四夹角具有相同的大小，且均小于90度。

10.如权利要求9所述的镀膜工艺中使用的基板固定装置，其特征在于：所述第二组件还包括第十端面和第十一端面，且所述第十端面和第十一端面相对，且所述第十端面与所述第五端面之间具有第五夹角，所述第十一端面与所述第五端面具有第六夹角，且所述第五夹角和第六夹角具有相同的大小，并均小于90度。