[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号: | 201220143507.9 | 申请日: | 2012-04-09 |
| 公开(公告)号: | CN202513132U | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
| 发明(设计)人: | 汤安民;沈艳;郑金彩;梅晓东;查超麟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 吴关炳 |
| 地址: | 314416 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 石英 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于太阳能电池生产的石英舟载具,特别是涉及太阳能电池生产中氧化扩散工艺用的一种石英舟。
背景技术
目前,太阳能电池是一种现今大规模使用的清洁能源。在太阳能电池的制造生产过程中,提高太阳能的转换效率,增加单体时间内的产能,及降低制造成本是该领域内的重点。
氧化扩散工艺是太阳能电池制造过程中的关键工序,该工艺使用的设备常采用水平管式炉,其涉及到一种放置于炉管中装载硅片的石英舟,可用于800-1100度高温处理。石英舟包括卡槽棒和支撑卡槽棒的支架,在卡槽棒上均布设有固定硅片的卡槽,能使硅片竖直放置,间隔均匀,充分与工艺气体反应。由于炉管内恒温区的长度限制,常用的石英舟长度为800mm-1300mm,其中卡槽个数在150-250个,卡槽与卡槽间距为4.76mm,卡槽的宽度可容纳2片硅片。当每个卡槽内放置2片硅片时,每舟单位时间内的产能达到最大,但这种放置方式会使得最终的电池片成品的光电转换效率降低;若每个卡槽内放置1片硅片时,会利于电池片的光电转换效率,但这样使得单位时间内的产能减半。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石英舟,既能满足高产能的需要,且电池片的光电转换效率高。
本实用新型解决技术问题采用的技术方案是:一种石英舟,包括卡槽棒和支撑卡槽棒的支架,所述卡槽棒上设有固定硅片的卡槽,所述卡槽棒包括一对左右平行设置的上卡槽棒和一对左右平行设置的下卡槽棒,所述上卡槽棒之间的间距大于下卡槽棒之间的间距;所述卡槽均布设置于卡槽棒内侧上部的棱边上,所述各卡槽之间的间距为2mm~3mm,所述卡槽的宽度为0.35mm~0.45mm;在同一横截面上,左侧上卡槽棒所设卡槽的底面和下卡槽棒所设相应卡槽的底面的连接线以及右侧上卡槽棒所设卡槽的底面和下卡槽棒所设相应卡槽的底面的连接线向下延伸后相交构成90°角。
作为一种优选,所述卡槽两侧边的顶部设有倒角,所述卡槽两侧边顶部的倒角为50°~70°之间。
本实用新型的有益效果是:缩短卡槽之间的间距及卡槽的宽度,增加卡槽的个数,确保每片硅片放置在单独的卡槽内,利于提高其最终的光电转换效率,且能兼顾产能。卡槽两侧边顶部设计成倒角,方便了硅片在卡槽上的取放。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图。
图2为本实用新型实施例卡槽在卡槽棒上的位置示意图。
图3为本实用新型实施例硅片安装后的示意图。
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
具体实施方式
如图1、图2所示,一种石英舟,包括卡槽棒和支撑卡槽棒的支架1,该卡槽棒包括一对左右平行设置的上卡槽棒3和一对左右平行设置的下卡槽棒4,上卡槽棒3和下卡槽棒4在同一水平面内平行放置,且上卡槽棒3之间的间距大于下卡槽棒4之间的间距;卡槽2均布设置于卡槽棒内侧上部的棱边上,各卡槽2之间的间距为2.38mm,各卡槽2的宽度为0.4mm。在同一横截面上,左侧上卡槽棒3所设卡槽的底面和下卡槽棒4所设相应卡槽的底面的连接线以及右侧上卡槽棒3所设卡槽的底面和下卡槽棒4所设相应卡槽的底面的连接线向下延伸后相交构成90°角。在卡槽2两侧边的顶部设有60°的倒角5。
图3为本实用新型将硅片6安装后的侧面示意图。
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