[实用新型]便于拆装的石墨舟有效
申请号: | 201220142899.7 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN202530161U | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 尤耀明;代宁;李文虎 | 申请(专利权)人: | 无锡绿波新能源设备有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214092 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 便于 拆装 石墨 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片生产过程中用于硅片镀膜的石墨舟,具体地说是一种便于拆装的石墨舟。
背景技术
随着光伏太阳能产业的迅猛发展,市场对太阳能电池片的需求也不断增加。石墨舟是PECVD(等离子增强化学气相沉积)工艺的一种重要装备。
石墨舟通常由石墨舟片、陶瓷杆、陶瓷管、石墨螺母等组装形成。各石墨舟片上开有相对应的多个圆形通孔,各石墨舟片通过贯穿在圆形通孔内的陶瓷杆固定连接成舟体,相邻两片石墨舟片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管,每个陶瓷杆的两端通过石墨螺母固定在最外侧的两片石墨舟片上。这种结构的石墨舟拆装时需将陶瓷杆与陶瓷管分开作业,工人需要重复一个拆装动作上百次,这大大增加了工作量;同时将陶瓷杆穿入各石墨舟片的通孔中,对石墨舟片通孔的圆度和位置度的要求高,增加了拆装石墨舟的难度,降低了工作效率。
发明内容
本实用新型针对上述问题,提供一种便于拆装的石墨舟,该石墨舟拆装方便,可减少劳动量,提高工作效率。
按照本实用新型的技术方案:一种便于拆装的石墨舟,包括多片并列的石墨舟片,所述多片石墨舟片由陶瓷杆及石墨螺母连接成舟体,所述多片石墨舟片的边缘开有相对应的U型槽孔,所述陶瓷杆上设有多个卡槽,所述陶瓷杆安装于所述U型槽孔内,并且所述卡槽卡在各片所述石墨舟片上。
所述U型槽孔位于各片所述石墨舟片的横向两个侧边上。
所述U型槽孔的轴线垂直于所述石墨舟片的横向侧边。
所述多个卡槽均布在所述陶瓷杆上。
所述卡槽一体成型在所述陶瓷杆上。
本实用新型的技术效果在于:本实用新型在石墨舟片上开有U型槽孔,在陶瓷杆上设有卡槽,通过将陶瓷杆直接放入石墨舟片的U型槽孔内达到固定与绝缘石墨舟片的作用,操作方便,可减少工作量,提高工作效率。
附图说明
图1为现有的石墨舟的立体结构示意图。
图2为图1中的石墨舟片的结构示意图。
图3为图1中的陶瓷杆的结构示意图。
图4为图1中的陶瓷管的结构示意图。
图5为本实用新型的立体结构示意图。
图6为图5中的石墨舟片的结构示意图。
图7为图5中的陶瓷杆的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。
图1~图7中,包括陶瓷杆1、石墨舟片2、陶瓷管3、石墨螺母4、圆形通孔5、U型槽孔6、卡槽7等。
如图5、图6所示,本实用新型是一种便于拆装的石墨舟,包括多片并列的石墨舟片2,多片石墨舟片2的边缘开有相对应的U型槽孔6,U型槽孔6位于各片石墨舟片2的横向两个侧边上,U型槽孔6的轴线垂直于石墨舟片2的横向侧边。
如图7所示,陶瓷杆1的杆体上设有多个卡槽7,杆体的两端设置有螺纹,卡槽7一体成型在陶瓷杆1上,多个卡槽7均布在陶瓷杆1上。
再参见图5,本实用新型组装时,陶瓷杆1安装于多片石墨舟片2相对应的U型槽孔6内,并且卡槽7卡在各片石墨舟片2上,在陶瓷杆1的两端螺纹连接有石墨螺母4,将石墨舟片2连接成舟体。
本实用新型在石墨舟片2上开有U型槽孔6,在陶瓷杆1上设有卡槽7,通过将陶瓷杆1直接放入石墨舟片2的U型槽孔6内达到固定与绝缘石墨舟片2的作用,由此可以省去将陶瓷管3依次装在陶瓷杆1上的重复动作,可减少工作量,提高工作效率;另外,圆形通孔5改为U型槽孔6后,明显降低了拆装的难度,操作方便,间接降低了劳动成本。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的