[实用新型]便于拆装的石墨舟有效

专利信息
申请号: 201220142899.7 申请日: 2012-04-06
公开(公告)号: CN202530161U 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 尤耀明;代宁;李文虎 申请(专利权)人: 无锡绿波新能源设备有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214092 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 便于 拆装 石墨
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产过程中用于硅片镀膜的石墨舟,具体地说是一种便于拆装的石墨舟。

背景技术

随着光伏太阳能产业的迅猛发展,市场对太阳能电池片的需求也不断增加。石墨舟是PECVD(等离子增强化学气相沉积)工艺的一种重要装备。

石墨舟通常由石墨舟片、陶瓷杆、陶瓷管、石墨螺母等组装形成。各石墨舟片上开有相对应的多个圆形通孔,各石墨舟片通过贯穿在圆形通孔内的陶瓷杆固定连接成舟体,相邻两片石墨舟片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管,每个陶瓷杆的两端通过石墨螺母固定在最外侧的两片石墨舟片上。这种结构的石墨舟拆装时需将陶瓷杆与陶瓷管分开作业,工人需要重复一个拆装动作上百次,这大大增加了工作量;同时将陶瓷杆穿入各石墨舟片的通孔中,对石墨舟片通孔的圆度和位置度的要求高,增加了拆装石墨舟的难度,降低了工作效率。

发明内容

本实用新型针对上述问题,提供一种便于拆装的石墨舟,该石墨舟拆装方便,可减少劳动量,提高工作效率。

按照本实用新型的技术方案:一种便于拆装的石墨舟,包括多片并列的石墨舟片,所述多片石墨舟片由陶瓷杆及石墨螺母连接成舟体,所述多片石墨舟片的边缘开有相对应的U型槽孔,所述陶瓷杆上设有多个卡槽,所述陶瓷杆安装于所述U型槽孔内,并且所述卡槽卡在各片所述石墨舟片上。

所述U型槽孔位于各片所述石墨舟片的横向两个侧边上。

所述U型槽孔的轴线垂直于所述石墨舟片的横向侧边。

所述多个卡槽均布在所述陶瓷杆上。

所述卡槽一体成型在所述陶瓷杆上。

本实用新型的技术效果在于:本实用新型在石墨舟片上开有U型槽孔,在陶瓷杆上设有卡槽,通过将陶瓷杆直接放入石墨舟片的U型槽孔内达到固定与绝缘石墨舟片的作用,操作方便,可减少工作量,提高工作效率。

附图说明

图1为现有的石墨舟的立体结构示意图。

图2为图1中的石墨舟片的结构示意图。

图3为图1中的陶瓷杆的结构示意图。

图4为图1中的陶瓷管的结构示意图。

图5为本实用新型的立体结构示意图。

图6为图5中的石墨舟片的结构示意图。

图7为图5中的陶瓷杆的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

图1~图7中,包括陶瓷杆1、石墨舟片2、陶瓷管3、石墨螺母4、圆形通孔5、U型槽孔6、卡槽7等。

如图5、图6所示,本实用新型是一种便于拆装的石墨舟,包括多片并列的石墨舟片2,多片石墨舟片2的边缘开有相对应的U型槽孔6,U型槽孔6位于各片石墨舟片2的横向两个侧边上,U型槽孔6的轴线垂直于石墨舟片2的横向侧边。

如图7所示,陶瓷杆1的杆体上设有多个卡槽7,杆体的两端设置有螺纹,卡槽7一体成型在陶瓷杆1上,多个卡槽7均布在陶瓷杆1上。

再参见图5,本实用新型组装时,陶瓷杆1安装于多片石墨舟片2相对应的U型槽孔6内,并且卡槽7卡在各片石墨舟片2上,在陶瓷杆1的两端螺纹连接有石墨螺母4,将石墨舟片2连接成舟体。

本实用新型在石墨舟片2上开有U型槽孔6,在陶瓷杆1上设有卡槽7,通过将陶瓷杆1直接放入石墨舟片2的U型槽孔6内达到固定与绝缘石墨舟片2的作用,由此可以省去将陶瓷管3依次装在陶瓷杆1上的重复动作,可减少工作量,提高工作效率;另外,圆形通孔5改为U型槽孔6后,明显降低了拆装的难度,操作方便,间接降低了劳动成本。

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