[实用新型]太阳能电池扩散用源瓶

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种源瓶，尤其涉及一种太阳能电池扩散用源瓶。

背景技术

常规扩散炉在采用POCl3（三氯氧磷）扩散制PN结时，由于生产过程中源量的不断消耗而使源量液位降低，气体携带POCl3的能力降低。常规源瓶结构：刚开始的液位为100mm，结束时的液位为20mm，液位落差（比值）=100/20=5，对扩散方块电阻的影响为8-12Ω/□；对于这种情况，一般通过频繁的工艺修改或调整等手段将扩散方块电阻控制在制程以内；因此，这为工艺的稳定、工艺配方的修改或保存及调用带来麻烦，容易产生管理和控制混乱，造成工艺监督不利或工艺的错误调用，为生产带来极大损失。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够避免工艺的重复修改或调整，使生产制程更加稳定可靠的太阳能电池扩散用源瓶。

为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶，外瓶顶部设置有贯通其内外的进气口和出气口，所述位于外瓶内的进气口末端设置有玻璃导管，所述外瓶内设置有隔层，玻璃导管串通隔层底部。

为了提高源量利用率，进一步地，所述隔层至少有三个。

为了提高整个系统源瓶的密封性，进一步地，所述进气口和出气口上端呈凹槽形。

为了防止进气口所进气体产生气泡，再进一步地，所述隔层上设置有气孔。

为了更好的防止产生气泡，更进一步地，所述气孔直径为8mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益之处是：这种太阳能电池扩散用源瓶优化较易实现，具有实践意义，同时提高源瓶内三氯氧磷的利用率，优化后的源瓶不会增加额外负担或工作，对工艺稳定性有较好的控制。

附图说明：

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型太阳能电池扩散用源瓶内部结构示意图；

图2是图1中A的局部放大图。

图中：1、外瓶； 2、进气口； 3、出气口； 4、玻璃导管； 5、隔层； 6、气孔。

具体实施方式：

下面结合附图及具体实施方式对本实用新型进行详细描述：

图1所示一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶1，保证了源瓶的长期重复使用而不易变形；所述外瓶1顶部设置有贯通其内外的进气口2和出气口3，在进气口2和出气口3的上端采用凹槽设计，此设计能提高整个系统源瓶的密封性，使源瓶更安全，也有利于工艺稳定；所述位于外瓶1内的进气口2末端设置有玻璃导管4，外瓶1内至少设置有三层隔层5，所述玻璃导管4串通隔层5底部；如图2所示，为了防止进气口2进入的气体产生气泡影响，所述隔层5上设置有直径为8mm的气孔6。

工作时，进气口2作为携带气体通口（如氮气/氩气等性质比较稳定的气体），通过玻璃导管4深入源瓶内三氯氧磷液体的下部，气体携带部分三氯氧磷分子，经由出气口3将磷源带入高温石英管内进行扩散；由于在源瓶内设置了隔层5，因此同时添加的隔层5占用了一部分体积，使得源瓶内三氯氧磷总剩余量降低，即源量利用率提高。

优化后的源瓶刚开始的液位为100mm，结束时的液位为20mm，中间隔层增加的路程≈42+70*2≈182mm，液位落差（比值）≈（100+182）/（20+182）≈1.4，对扩散方块电阻的影响为1-3Ω/□。因此，这种太阳能电池扩散用源瓶优化较易实现，具有实践意义，同时提高源瓶内三氯氧磷的利用率，优化后的源瓶不会增加额外负担或工作，将源量由之前的5:1落差降为1.3～1.5之间，对工艺稳定性有较好的控制。

需要强调的是：以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。