[实用新型]镀膜靶台有效
| 申请号： | 201220140226.8 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN202576549U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 郑芳平;彭顺明 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 靶台 | ||
1.一种镀膜靶台，其特征在于，包括：
支架；
加热装置，设置在所述支架上；
电源控制装置，设置所述支架底部，用于控制所述加热装置加热；
粘靶台面，层叠地设置在所述加热装置上；
靶材夹持件，嵌入式地设置在所述粘靶台面上；以及
夹具结构，设置在所述支架上，用于夹持玻璃基板。
2.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，所述靶材夹持件为双L形，所述L形开口朝内。
3.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，所述加热装置包括：
加热件，产生热量的热源；
导热件，与所述加热件连接，传导热量。
4.根据权利要求3所述的镀膜靶台，其特征在于，所述加热装置还包括：
绝缘件，设置在所述加热件的底部，用于隔热。
5.根据权利要求4所述的镀膜靶台，其特征在于，所述加热件开设有收容槽，在所述收容槽中安装加热丝。
6.根据权利要求4所述的镀膜靶台，其特征在于，所述绝缘件内设有磁绝缘柱。
7.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，所述夹具结构包括：
U形夹具，倒扣在所述支架上；
玻璃基板夹具，设置在所述U形夹具内；以及
紧固件，把所述玻璃基板夹具紧固在所述U形夹具内。
8.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，还包括挡板，所述挡板把所述支架包裹形成柜体。
9.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，还包括转轮，所述转轮设置在所述支架的端部。
10.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，还包括定位支架，所述定位支架设置在所述支架的底部。
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