[实用新型]一种可避免误动作损害的机械臂

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造领域，具体涉及一种可避免误动作损害的机械臂。 

背景技术

等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；PECVD)设备的机械臂在工作过程中，主要负责石墨舟或石墨框的传送。在设备正常工作时，机械臂会上下左右多位置运动，将石墨舟或石墨框放在设定位置。在自动运行模式下，如果设备出现故障，机械臂会一直向下压，由于设备上没有相关保护装置，下压运动无法停止。在手动运行模式下，能使机械臂在任何情况下都可以向下运动，存在误操作的危险。 

在这两种情况下，如果处理不及时，会将石墨舟或石墨框压碎或者损坏设备的碳化硅桨等部件，造成经济损失甚至人身伤害。即使按下急停按钮，依然存在一个短暂的延时，仍可能会造成事故发生。 

因此，如何提供一种可避免误动作损害的机械臂来避免机械臂的误动作，进而避免由此产生的经济损失和人身伤害，已成为业界亟待解决的技术问题。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可避免误动作损害的机械臂，通过所述机械臂可避免机械臂的误动作，进而避免由此产生的经济损失和 人身伤害。 

为实现上述目的，本实用新型将提供一种可避免误动作损害的机械臂，包括臂体以及控制臂体动作的控制模块，所述机械臂还包括设置在臂体上的微动开关，所述微动开关包括本体、活动设置在本体中并接收机械臂误动作的力的传动元件、接收传动元件做功并在超过临界点时动作的动作簧片、设置在动作簧片末端的动触点以及设置在本体上且在动作簧片动作时与动触点连接状态改变的静触点，所述静触点和动触点电性连接至控制模块，控制模块在静触点和动触点连接状态改变时停止臂体的动作。 

在上述可避免误动作损害的机械臂中，所述传动元件为按销、按钮或杠杆。 

在上述可避免误动作损害的机械臂中，所述机械臂的误动作为下压动作，微动开关设置在臂体上，所述微动开关的传动元件朝下竖直设置。 

在上述可避免误动作损害的机械臂中，所述动作簧片的动触点与静触点在传动元件未受压时断开，在传动元件做功超过临界点时电性连接。 

在上述可避免误动作损害的机械臂中，所述动作簧片的动触点与静触点在传动元件未受压时电性连接，在传动元件做功超过临界点时断开。

在上述可避免误动作损害的机械臂中，所述机械臂为等离子增强化学气相沉积设备的机械臂。 

在上述可避免误动作损害的机械臂中，所述机械臂的臂体末端还 设置有抓手。 

与现有技术中未在机械臂上加设任何减轻或避免误动作损害的措施易因机械臂误动作，从而造成经济损失和人身伤害相比，本实用新型在机械臂的臂体上加设微动开关，当机械臂误动作时会推动微动开关的传动元件动作，进而推动动作簧片作动使其末端的动触点与设置在本体上的静触点的连接状态改变，从而使得与动触点和静触点电性连接的控制模块停止机械臂的动作，从而有效避免了机械臂的误动作，避免了经济损失和人身伤害。 

附图说明

图1为本实用新型的可避免误动作损害的机械臂的组成结构示意图；以及 

图2为本实用新型的微动开关的组成结构示意图。 

具体实施方式

下面结合具体实施例及附图来详细说明本实用新型的目的及功效。 

参见图1，本实用新型的可避免误动作损害的机械臂包括控制模块1、臂体2、抓手3和微动开关4，所述抓手3设置在臂体2末端，所述控制模块1控制臂体2和抓手3的动作。在本实施例中，所述机械臂为等离子增强化学气相沉积设备的机械臂，所述机械臂用于抓取承载硅片进行镀膜的石墨舟或石墨框，所述机械臂包括左侧和右侧的机械臂，所述微动开关4可以设置在左侧、右侧或两侧同时设置。 

参见图1和图2，所述微动开关4包括本体40、传动元件41、动作簧片42和静触点43。在本实施例中，所述本体40设置在抓手3的 外侧。在其他实施例中，若微动开关4厚度体积较小且反应灵敏的话，也可以设置在抓手3的底部。 

所述传动元件41活动设置在本体40中并接收机械臂2误动作的力。所述传动元件41为按销、按钮或杠杆等。在本实施例中，所述机械臂的误动作为下压动作，微动开关4设置在臂体2末端的抓手3上，所述微动开关4的传动元件41朝下竖直设置，所述传动元件41为按钮。