[实用新型]制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置

权利要求书

1.一种制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，包括：进气系统、热蒸发炉、等离子体发生装置、硒化炉和出气系统；所述热蒸发炉的腔体安装有第一石英管，所述等离子体发生装置的腔体安装有第二石英管，所述硒化炉的腔体安装有第三石英管，所述进气系统、所述第一石英管、所述第二石英管、所述第三石英管和所述出气系统顺次连通。

2.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，所述进气系统为不锈钢进气管；所述出气系统为不锈钢出气管。

3.根据权利要求2所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，所述进气系统还包括：第一阀门；所述第一阀门安装在所述不锈钢进气管的进气管口处。

4.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，在所述第一石英管的管内放置有石墨坩埚。

5.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，在所述第二石英管和所述第三石英管之间还安装有热丝管；所述热丝管的进口端与所述第二石英管连通，所述热丝管的出口端与所述第三石英管连通。

6.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，在所述第二石英管和所述第三石英管的相接处还安装有第二阀门。

7.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，在所述第三石英管的管内安装有插槽。

8.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，在所述第三石英管的出口端安装有压力表。

9.根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，在所述第三石英管的出口端还连通有冷阱。

10.根据权利要求9所述的制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，所述冷阱包括：内管和外管；所述内管内置在所述外管的内部；所述外管连通有进水口和出水口；所述内管的进管口与所述第三石英管的出口端连通，所述内管的出管口与所述出气系统连通。