[实用新型]高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光学薄膜的光学性能测量装置，特别是一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置。

背景技术

光学薄膜损伤是限制激光系统高功率、高能量化的主要因素，因此对损伤阈值的研究一直是多年来的热点问题。由于绝大多数激光器都是在常温环境下使用，所以对光学薄膜的激光损伤阈值都是在常温下进行测试，得到的即常温激光损伤阈值。但是，随着激光应用领域的拓展，温度因素对薄膜激光损伤的影响越来越突出。如在当前空间技术迅速发展的背景下，空间激光器就需要考虑温度因素影响，因为太空中阳光直射面温度可升至250℃以上；此外在下一代激光光刻技术中，一些薄膜元件也需要长时间承受数百度的高温，诸如此类都需要进行薄膜在高温环境下的激光损伤阈值评价。但是，目前国内外尚没有在高温环境下进行激光辐照光学薄膜损伤阈值测量的装置。

发明内容

本实用新型的目的是要提供一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置，解决现在对光学薄膜的激光损伤阈值都是在常温下进行测试，不能得到高温激光损伤阈值的问题。

本实用新型的目的是这样实现的：该光学薄膜损伤阈值测量包括装置：

高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置，包括：计算机、第一激光器、反射镜、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、能量计、聚焦透镜、在线显微镜判断装置、耐高温可移动平台和温控箱；

计算机的输出端与第一激光器、第二激光器、在线显微镜判断装置和耐高温可移动平台连接；第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、聚焦透镜在第二激光器的第二光路上，在第二光路中的第一反射镜和第二反射镜为折射镜，第三反射镜、分光镜和聚焦透镜为透射镜；反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、聚焦透镜在第一激光器的第一光路上，第一光路中的反射镜和第三反射镜为折射镜，分光镜和聚焦透镜为透射镜，能量计在分光镜折射光路上，耐高温可移动平台和待测样品位于温控箱内，待测样品位于第一光路和第二光路上；在线显微镜判断装置位于温控箱外。

有益效果，由于采用了上述方案，第一激光器，用于准直光路和协助检测损伤的第二激光器，用于对样品进行加热并可以实现温度控制的温控箱，位于温控箱内的耐高温可移动平台，在耐高温可移动平台上的待测样品；在所述的第一激光器光路上依次设置能量衰减器、分光镜和聚焦透镜，在分光镜的反射光路上设置能量计，进行激光能量的测量；所述的聚焦透镜具有在光轴方向的移动机构；所述的耐高温可移动平台和样品均置于温控箱内，其中耐高温平台的耐热温度不低于400℃，温控箱的温度控制范围为室温～350℃；在所述的待测样品表面空间设置在线显微镜判断装置；所述的第一激光器、第二激光器、在线显微镜判断装置、耐高温可移动平台与计算机相连接；可以测量高温环境下光学薄膜的激光损伤阈值；可以进行高温环境下激光辐照光学薄膜即时损伤阈值的测量，同时还可以对保温不同时间样品的损伤阈值进行测量，评价薄膜在高温环境下激光损伤的耐久性。

附图说明

图1 是本实用新型高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置的结构示意图。

图2 是高温环境下激光辐照光学薄膜的即时损伤阈值和损伤耐久性数据。

图中，1、计算机；2、第一激光器；3、反射镜；4、第二激光器；5、第一反射镜；6、第二反射镜；7、第三反射镜；8、能量衰减器；9、分光镜；10、能量计；11、聚焦透镜；12、在线显微镜判断装置；13、耐高温可移动平台；14、温控箱；15、待测样品。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的一个实施例作进一步的描述： 

实施例1：在图1中，测量装置，包括：计算机1、第一激光器2、反射镜3、第二激光器4、第一反射镜5、第二反射镜6、第三反射镜7、能量衰减器8、分光镜9、能量计10、聚焦透镜11、在线显微镜判断装置12、耐高温可移动平台13和温控箱14；