[实用新型]单晶硅生产中氩气回收纯化装置

权利要求书

1.一种单晶硅生产中氩气回收纯化装置，其特征在于该装置包括：一用于对从单晶炉中收集的氩气（100）进行粗油过滤并可当气体缓存罐使用的粗油过滤器（101）；

在所述粗油过滤器（101）之后依次相连有氩气压缩机（102）和一水冷却器（103），并在其后相连有可除去氩气中油雾和固体颗粒高精度除油系统（104）；

一依次通过加热器（108）和回热器（107）相接于所述高精度除油系统（104）的一级催化反应器（109），该催化反应器（109）选用氧化钛或氧化铝为载体的金属钯催化剂，并使甲烷、一氧化碳、烷烃类杂质同氧气反应生成水和二氧化碳；

另一通过所述回热器（107）相接于所述一级催化反应器（109）的二级催化反应器（114），也选用氧化钛或氧化铝为载体的金属钯催化剂，并使氧气和氢气反应生成水；

一组至少由两只吸附器构成的常温吸附单元（117）相接于所述的二级催化反应器（114），用于吸附氩气中的水和二氧化碳；所述常温吸附单元（117）通过一低温板式换热器（119）以及节流阀（121）连通于低温精馏塔（122），该低温精馏塔（122）的底部为蒸发器单元（141），顶部为冷凝器单元（144），在该低温精馏塔的底部设置有纯液氩产品（123）出口，而在低温精馏塔的顶部设置有精馏废气（127）出口。

2.根据权利要求1所述的单晶硅生产中氩气回收纯化装置，其特征在于所述的高精度除油系统（104）包括高效除油器、精密过滤器、活性碳过滤器和高效除尘过滤器中的至少两种串联构成，并可将通过的氩气除去其中的油雾和固体颗粒；所述的高精度除油系统（104）之后经过了一级催化反应器和二级催化反应器后相接有由三个吸附器构成的常温吸附单元（117），该常温奶吸附单元（117）包括三台常温吸附器（202），并经过粗氩气进口阀（201）、粗氩气出口阀（203）、置换气进口阀（204）、再生空气进口阀（205）、均压阀（206）、再生气和置换气出口阀（207）、泄压阀（208）、放空消声器（209）、再生加热器（210）相接组成；三台常温吸附器（202）中的一台进行吸附工作、一台进行再生、一台进行气体置换，相互之间通过时间程序控制器进行自动控制切换。

3.根据权利要求1或2所述的单晶硅生产中氩气回收纯化装置，其特征在于所述的高精度除油系统（104）之后并接有一对氩气（105）中的甲烷、一氧化碳等氧化性杂质进行分析，从而计算反应需氧量，同时检测氩气（105）中杂质氧气含量的一级分析控制单元（106），所述一级分析控制单元（106）通过比较计算确定是否需要加入压缩空气补充氧气量进氩气（105），所述一级分析控制单元（106）单元的位置也可以加在粗油过滤器（101）上；在所述二级催化反应器（114）之前并接有对氩气（111）中的氧气进行分析确定氧气反应所需氢气量的二级分析控制单元（112），以便加入过量氢气使氧气反应完全。