[实用新型]掩模版白缺陷修补烘烤装置

权利要求书

1. 一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，包括：枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的调节固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。

2. 根据权利要求1所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述调节固定装置包括电磁阀和由电磁阀控制的可调节枪式烘烤加热器高度的汽缸。

3. 根据权利要求1所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述枪式烘烤加热器包括加热丝和用于感应枪式烘烤加热器加热温度的温度传感器，加热丝和温度传感器都与温控电路连接。

4. 根据权利要求1所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，当温控电路为至少两个时，通过模式切换开关进行切换。

5. 根据权利要求1至4任意一项所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述温控电路包括：

与枪式烘烤加热器中的温度传感器连接的用于进行数据处理的温度控制器、受温度控制器控制的固态继电器，该固态继电器的一端还与枪式烘烤加热器中的加热丝连接，当温度传感器给到温度控制器的温度超过预置温度值时，温度控制器通知固态继电器使其切断加热丝的连接通路，当温度传感器给到温度控制器的温度低于预置温度值时，温度控制器通知固态继电器使其接通加热丝的连接通路。

6. 根据权利要求5所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述温控电路还包括一连接在所述温度控制器和电源之间的声音报警器，当加热丝加热时间超过预置时间值或者加热温度超出预置温度时，温度控制器通知声音报警器报警。