[实用新型]一种大型环形气相沉积炉

权利要求书

1.一种大型环形气相沉积炉，包括炉体、炉盖及炉底板，在所述炉体内从外到里依次设有圆筒形保温筒、外发热体、外沉积筒，其特征在于，在所述外沉积筒内还设有内沉积筒，所述内沉积筒内设有圆筒形内发热体，在所述内沉积筒和外沉积筒之间形成环形炉膛，所述环形炉膛的底部设有环形沉积底板，所述炉底板上设有多个进气管，所述保温筒的顶部设有保温盖。

2.根据权利要求1所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述环形炉膛的顶部设有炉膛盖。

3.根据权利要求1或2所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述进气管沿所述环形沉积底板呈环形均布。

4.根据权利要求1所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述外发热体和内发热体的内部分别设有第一外发热体热电偶管和内发热体热电偶管，所述第一外发热体热电偶管和内发热体热电偶管固定在所述炉盖上。

5.根据权利要求1、2或4所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述外发热体和内发热体上分别连接有外电源电极和内电源电极，所述外电源电极和内电源电极各自连接独立的供电电源。

6.根据权利要求1、2或4所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述炉体、炉盖及炉底板设有水冷套结构。

7.根据权利要求1、2或4所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述环形沉积底板与所述炉底板之间还设有支撑环，所述环形沉积底板和支撑环为炭/炭复合材料，所述环形沉积底板上均布有气孔。

8.根据权利要求7所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述外发热体和内发热体由石墨材料制成。

9.根据权利要求8所述的大型环形气相沉积炉，其特征在于，所述炉体上还设有第二外发热体热电偶管。