[实用新型]坩埚冷却装置有效
| 申请号： | 201220104435.7 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN202543304U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 袁永旭;刘敏强 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，其特征在于，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水口相通。
2.根据权利要求1所述的坩埚冷却装置，其特征在于，所述分水盘用螺钉固定在所述冷却腔的下壁上，所述入水孔与所述下腔之间的侧壁开通孔。
3.根据权利要求2所述的坩埚冷却装置，其特征在于，所述分水盘的周边部位固定有立板，所述立板的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。
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