[实用新型]超纯水制造用子系统有效
申请号: | 201220101480.7 | 申请日: | 2012-03-14 |
公开(公告)号: | CN202705158U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 川胜孝博;福井长雄 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社 |
主分类号: | C02F9/08 | 分类号: | C02F9/08 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 崔香丹;张永康 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超纯水 制造 子系统 | ||
【权利要求书】:
1.一种超纯水制造用子系统,其是从一次纯水制造超纯水的子系统,其至少包括UV装置、脱气装置、离子交换树脂装置以及UF膜装置,其特征在于,
在该UF膜装置的后级中,具有填充了粒径为1~3mm的粒状吸附体的吸附装置;
通过来自该UF膜装置的流出水压,能够在不使用升压泵的情况下向该吸附装置中通水。
2.如权利要求1所述的超纯水制造用子系统,其特征在于,在所述吸附装置的后级还设置有MF膜装置或UF膜装置。
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