[实用新型]一种用于电子束蒸发镀膜的新结构蒸发材料有效
| 申请号： | 201220098888.3 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN202530153U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 刘红宾;陈明;于海洋;任仁;何金江;熊晓东;吕保国;江轩 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子束 蒸发 镀膜 结构 材料 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电子束蒸发镀膜的块状蒸发材料，其特征在于：该材料直接被电子束加热蒸发的端面上，加工有一个凹槽，该凹槽用于盛放片状或颗粒状同材质蒸发材料。
2.根据权利要求1中所述的材料，其特征在于：所述凹槽的表面开口形状是圆形或矩形。
3.根据权利要求1中所述的材料，其特征在于：所述凹槽的垂直截面为矩形或者上大下小的倒梯形。
4.根据权利要求1中所述的材料，其特征在于：所述凹槽的深度不大于块状蒸发材料高度的1/2。
5.根据权利要求1中所述的材料，其特征在于：块状蒸发材料用钛、镍、铝、钒、银或合金材料制成。
6.根据权利要求1中所述的材料，其特征在于：凹槽具有底面和侧面，凹槽底面和块状蒸发材料的底面平行，凹槽侧面和块状蒸发材料的侧面平行。
7.根据权利要求6中所述的材料，其特征在于：凹槽的对称轴和块状蒸发材料的对称轴共轴。
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