[实用新型]一种防微震系统

说明书

技术领域

本实用新型属于防微震技术领域，具体涉及一种防微震系统。

背景技术

在工业生产过程中，特别是精密器件生产过程中，以及精密仪器进行高精度测试测量时，振动对生产设备以及测量仪器的加工精度、灵敏度的影响是巨大的。尤其是存在外部振动源时，由于外部振动源的移动位置、速度、加速度、载重、实时冲量与振动频率等振动源信息具有随机性和不确定性，而现有的防微震设备对这些振动源信息无法实时采取针对性防微震措施，也无法发挥其防微震的最佳效能，防微震的效果很不理想。

在专利号为US6213443，名称为“防震装置以及采用该防震装置的曝光装置(Anti--vibration apparatus and exposure apparatus using the same)”的美国专利申请所公开的技术方案中，提出一种通过自身反馈系统来减少自身振动影响的防震装置。该防震装置只能对需要防震的设备自身产生的振动进行反馈调节，减小该设备自身振动对其的影响，而对外部振动源引起的振动并没有较好的主动应对效果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷，提供一种能够主动应对外部振动源引起的振动的防微震系统。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：

所述防微震系统包括一个或多个防微震单元，每个防微震单元包括振动源实时信息采集模块、防震台控制模块、减震器以及防震台，

所述振动源实时信息采集模块用于实时采集一个外部振动源的振动源信息，并将所述振动源信息输出；

所述防震台控制模块用于接收所述振动源信息，并据此发出相应的控制指令至减震器，以实时控制与防震台相连的减震器做出相应动作，调节防震台的防震状态。

优选的是，所述每个防微震单元还包括振动源无线记录模块和防震台无线读取模块，

所述振动源无线记录模块用于实时记录所述振动源信息，并通过无线的方式将其实时传输；

所述防震台无线读取模块用于通过无线的方式实时接收并读取所述振动源无线记录模块记录的振动源信息，再将其实时传输至防震台控制模块。

优选的是，所述振动源无线记录模块与防震台无线读取模块之间的无线数据传输方式采用RFID方式、ZigBee方式、Wi-Fi方式或蓝牙方式。

进一步优选的是，所述振动源无线记录模块采用RFID记录器，所述防震台无线读取模块采用RFID读取器。

更进一步优选的是，所述RFID记录器与RFID读取器均采用以电感耦合的方式进行工作的低频段RFID，其工作频率为120KHz～134KHz；或者，所述RFID记录器与RFID读取器均采用以负载调制的方式进行工作的高频段RFID，其工作频率为13.56MHz；或者，所述RFID记录器与RFID读取器均采用以电磁波的方式进行工作的超高频率RFID，其工作频率为860MHz～960MHz。

优选的是，所述每个防微震单元还包括振动源信号传输模块和防震台信号传输模块，

所述振动源信号传输模块用于将振动源实时信息采集模块实时采集的振动源信息传输至振动源无线记录模块；

所述防震台信号传输模块用于将防震台无线读取模块实时读取的振动源信息传输至防震台控制模块。

进一步优选的是，所述振动源信号传输模块及防震台信号传输模块均采用信号传输线。

优选的是，所述减震器采用空气弹簧驱动器或液压减震器。

优选的是，所述一个外部振动源的振动源信息包括有多组。

进一步优选的是，所述多组振动源信息包括所述移动振动源的移动位置、速度、加速度、载重、实时冲量或振动频率信息。

有益效果：

本实用新型所述防微震系统可包含一个或多个防微震单元，其中每个防微震单元均可针对一个外部振动源的移动位置、速度、加速度、载重、实时冲量以及振动频率信息等多组振动源信息实时、主动的调节与防震台相连接的减震器，从而使防震台处于最佳防震状态。也就是说，所述防微震系统不仅可针对一个移动振动源进行实时、主动的调节，还可用于多个移动振动源集群，即同时针对多个外部振动源进行实时、主动的调节，其改变了以往防震系统的被动防震方式，所述防微震系统应用于精密器件的生产或测量过程中，能够有效提高精密器件的加工精度与灵敏度等，最大限度的发挥了其防震作用。