[实用新型]用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，包括真空室及阴极靶，该阴极靶的靶座上装有靶材、背板及磁体，其特征在于阴极靶的磁体由带励磁线圈的外环强磁体和中间弱磁体构成，磁体上的励磁线圈与控制电源连接。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述阴极靶的外环强磁体由永磁铁阵列组成，中间弱磁体由电磁铁阵列构成。

3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述阴极靶为磁水分离结构，阴极靶的背板上设有靶材的冷却水槽。

4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述阴极靶的靶座上装有磁轭，外环强磁体与中间弱磁体固定在磁轭上。

5.根据权利要求4所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述磁轭的底部装有推杆，该推杆带动磁轭和磁体在靶座内移动。

6.根据权利要求5所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述磁轭底部的推杆连接气缸，由气缸带动推杆调节磁体与靶材之间的距离，调整靶材表面的磁场强度及分布。

7.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述外环强磁体与中间弱磁体上的励磁线圈反向缠绕，接入DC电源控制电流的大小。

8.根据权利要求7所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述外环强磁体与中间弱磁体上的励磁线圈分别通电或不通电。

9.根据权利要求7所述的用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，其特征在于所述外环强磁体与中间弱磁体上的励磁线圈均通电，其电流方向相反。