[实用新型]一种AE电源冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及AE电源设备技术领域，特别是一种用于AR镀膜线上AE电源的干燥风冷却装置。

背景技术

美国AE电源因其高效率，高精密，大功率和高工艺制程的可控性，被广泛运用于现代工业镀膜行业中，在AR镀膜生产线中，常用到美国AE中频电源，常用靶位有钛靶，硅靶。在膜系设计中，二氧化钛15nm，二氧化硅120nm常作为基本膜系。因为二氧化硅需要镀120个纳米左右要占用大量的靶位，在靶位不多的情况下，增大电源使用功率可以加大溅射效率，增大产能。但是在大功率状态下工作电源需大量散热，一旦电源温度过高会造成跳靶，致使镀膜箱体内玻璃大批量报废，工作状态极不稳定。一般10KW的AE电源开7.5KW可以保证较长时间稳定工作，但是在8KW以上的常会由于温度过高造成跳靶，也是就靶电源利用率才75%。充分利用靶电源，加大电源使用功率，就能增大产量，降低生产成本。为了保证电源能长时间大功率工作，常用的方法是降低冷却水温度，但是冷却水温度过低的话电源内部电路板上容易生产水珠，这样电源在工作时容易损坏。

发明内容

本实用新型是为了克服以上现有技术存在的缺点而提出的，其所解决的技术问题是提供一种能够辅助降低AE电源散热的干燥风冷冷却装置。

为此，本实用新型提供了一种AE电源冷却装置，包括电源柜及电柜背门，其特征在于：所述的电柜背门上设有输气孔，输气孔向外连接通气管道，通气管道连接干燥冷凝器，电柜背门上设有排风机。

干燥冷凝器能将空气制冷后压缩通过通气管道和输气孔进入电柜，对AE电源进行低温冷却，排风机再将电柜空气抽排出，使电柜内形成循环气体，确保了气体的干燥。

作为对本实用新型AE电源冷却装置的进一步改进，所述电柜背门两侧各设有三个等距排列的输气孔。

所述排风机有三个，竖直设于电柜背门中间并间距相等。

本实用新型的有益效果是：通过在AE电源电柜背门上设有排风机和干燥冷凝器，能够带走电源柜内冷却造成的水汽，在冷却水温较低的情况下也不易产生水珠，使AE电源散热良好，保证了AE电源在大功率工作状态下稳定工作。 

附图说明

图1为本实用新型AE电源冷却装置的结构示意图。

图中：1-电源柜、2-电柜背门、3-输气孔、4-通气管道、5-干燥冷凝器、6-排风机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

如图1所示，图中只标示出与本实用新型相关的主要部位，一种AE电源冷却装置，包括电源柜1及电柜背门2，电柜背门2上设有输气孔3，输气孔3向外连接通气管道4，通气管道4连接干燥冷凝器5，电柜背门2上设有排风机6。

电柜背门2两侧各设有三个等距排列的输气孔3，排风机6有三个，竖直设于电柜背门2中间并间距相等。

本实用新型所述的AE电源冷却装置工作如下：

开启排风机6和干燥冷凝器5，在生产过程中AE电源在大功率工作下电路产生大量热量温度升高，干燥冷凝器5产生冷却气体并压缩通过通气管道4进入电源柜1，冷却气体能将电源柜1内空气制冷，同时排风机6将抽排电源柜1内空气，带走冷却造成的水汽，降低了AE电源的热量而且使电源柜1内空气保持干燥，保证了AE电源在大功率工作状态下稳定工作。通过改造后10KW的美国AE电源我们可以开9.5KW，并且能长时间稳定工作，电源利用率为95%以上。这样每个电源都能提高20%的利用率，这样就能加快SIO2膜的沉积，提高20%产量，从而大大降低了成本。