[实用新型]激光调焦装置有效

专利信息
申请号: 201220078580.2 申请日: 2012-03-05
公开(公告)号: CN202539807U 公开(公告)日: 2012-11-21
发明(设计)人: 华伟;谢建;高云峰 申请(专利权)人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
主分类号: B23K26/04 分类号: B23K26/04
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 何平
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 激光 调焦 装置
【说明书】:

【技术领域】

实用新型涉及一种调焦装置,特别是涉及一种用于激光刻片机的激光调焦装置。

【背景技术】

在激光刻片机应用行业中,利用激光高能量密度的特点,将激光聚焦到要加工工件表面的镀膜或其他膜层上,使膜层融化或气化,达到刻化目的。理论上激光的焦点在束腰直径d处。但在激光的应用中,激光能量密度最高的区域是在激光焦点深度(DOF,Depth Of Focus)范围内。在激光刻化行业中,只要被加工的材料处于激光焦点深度(DOF)范围内的任意位置,加工效果和工件处于束腰直径d处(即焦点处)的效果一样,满足我们的技术要求。因此,在使用激光刻片机时,只需将被加工的工件放置在激光焦点深度的任意位置即可。

请参考图1~3,常用的激光调焦装置100包括聚焦镜安装座130、聚焦镜110、与聚焦镜110相互固定的聚焦镜转接套120、测微仪固定座140、固定在测微仪固定座140上的螺旋测微仪150、与螺旋测微仪150相连的移动轴驱动块160、设于聚焦镜安装座130内的聚焦镜花键套170及导向键180。移动轴驱动块160一端与螺旋测微仪150相固定,另一端固定在聚焦镜花键套170上,聚焦镜花键套170与聚焦镜转接套120相连并可在聚焦镜安装座130内沿着导向键180滑动。旋转螺旋测微仪150可以带动移动轴驱动块160运动并进一步带动聚焦镜花键套170沿导向键180滑动,从而带动聚焦镜转接套120与螺旋测微仪150运动,实现调焦的功能。

然而,该激光调焦装置100的结构较复杂,导致成本较高。另外,该激光调焦装置100的导向键180只能限制聚焦镜转接套120的Y向运动,无法限制限制聚焦镜转接套120的X向运动,这样会导致聚焦镜110晃动,从而导致激光焦点位置出现晃动,影响该激光调焦装置100的精度。

【实用新型内容】

基于此,有必要提供一种激光调焦装置,该激光调焦装置结构简单且精度较高。

一种激光调焦装置,包括聚焦镜安装座、通过螺纹转动固定于聚焦镜安装座上的聚焦镜转接套及固定于聚焦镜转接套上的聚焦镜。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜安装座包括相互连接在一起的安装面与连接筒,所述连接筒的末端设有螺纹,所述聚焦镜转接套内设有与所述连接筒末端的螺纹相配合的螺纹。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜的安装面上设有多个与其它装置相连接的安装孔。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜的安装面上设有多个与其它装置相连接的安装孔。

在其中一个实施例中,所述激光调焦装置还包括定位旋钮,所述聚焦镜转接套的连接筒上设有第一弹片与第二弹片,所述第一弹片与所述第二弹片相对设置,所述第一弹片与所述第二弹片上设有定位孔,所述定位旋钮通过所述定位孔将所述第一弹片与所述第二弹片固定在一起时,所述第一弹片与所述第二弹片夹紧所述连接筒。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜转接套包括设于聚焦镜转接套端部的聚焦镜转接头,所述聚焦镜转接头上设有刻度,所述连接筒上设有与聚焦镜转接头上的刻度配合使用的刻度。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜转接套绕所述聚焦镜安装座每旋转一周,所述聚焦镜转接套相对所述聚焦镜安装座移动1毫米。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜转接套上设有50等分每周的刻度,所述连接筒上设有1毫米间距的刻度。

在其中一个实施例中,所述聚焦镜与所述聚焦镜转接套通过螺纹连接的方式固定在一起。

上述激光调焦装置所使用的零件较少,因此结构简单,成本低。另外,该聚焦镜安装座与聚焦镜转接套之间采用螺纹连接的方式,在调焦过程中两者之间始终保持螺纹连接的关系,晃动较小以保证有较高的精度,且该激光调焦装置通过将聚焦镜转接套的圆周运动转化为直线运动来实现精准的调节,因此该激光调焦装置具有较高的调焦精度。

【附图说明】

图1为常用激光调焦装置的立体图;

图2为图1所示激光调焦装置的平面图;

图3为图2所示激光调焦装置沿C-C线剖开后的立体图;

图4为本实用新型的激光调焦装置的立体图;

图5为图4所示激光调焦装置的平面图;

图6为图5所示激光调焦装置沿D-D线的剖视图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

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