[实用新型]一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备

权利要求书

1.一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，包括依次设置并一体连接形成整体生产设备的一次清洗装置、第一组镀膜室、一次刻线装置、二次清洗装置、第二组镀膜室、硒化装置、二次刻线装置、三次清洗装置、第三组镀膜室。

2.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，在所述第一组镀膜室中形成钼金属层，在第二组镀膜室中依次形成铜铟镓层，在所述硒化装置中对形成的铜铟镓层进行硒化，在所述第三组镀膜室中形成氧化锌层。

3.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，所述硒化装置位于所述第二组镀膜室中与之一体连接。

4.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，所述第一组镀膜室、第二组镀膜室和第三组镀膜室均分别包括依次连接的1-6号六个镀膜室。

5.如权利要求4所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，所述第一组镀膜室、第二组镀膜室和第三组镀膜室均具有两个法兰，其分别位于2号镀膜室与3号镀膜室之间和4号镀膜室与5号镀膜室之间。

6.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，还包括依次连接的第一转换室、第二转换室、第三转换室和等待室。

7.如权利要求6所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，还包括与第一转换室连接的旋片泵，与第二转换室连接的罗茨泵，与第三转换室连接的分子泵。