[实用新型]高度分析设备有效
申请号: | 201220071521.2 | 申请日: | 2012-03-01 |
公开(公告)号: | CN202482491U | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 姜侑宗;张仲升;余文怀;许松林;徐文庆 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高度 分析 设备 | ||
1.一种高度分析设备,用于分析一位置随时间变化的对象的高度,包括:
一上下移动的驱动模块;
一连接于所述驱动模块的夹头模块,所述夹头模块包括一第一夹头、一第二夹头及一设于所述第一夹头与第二夹头之间的压力缓冲器;
一被所述夹头模块所夹固的测量棒,其中所述第一夹头活动地夹固于所述测量棒,所述第二夹头固定地夹固于所述测量棒;以及
一固定于所述测量棒且连接于第一夹头的切换开关。
2.根据权利要求1所述的高度分析设备,其特征在于,包括一高度指示单元。
3.根据权利要求2所述的高度分析设备,其特征在于,所述高度指示单元包括一设置于所述第二夹头上的读取头及一对应所述读取头的高度标记。
4.根据权利要求3所述的高度分析设备,其特征在于,所述切换开关接触或不接触所述第一夹头。
5.根据权利要求3所述的高度分析设备,其特征在于,所述测量棒为石英棒。
6.根据权利要求3所述的高度分析设备,其特征在于,所述压力缓冲器为弹簧。
7.根据权利要求3所述的高度分析设备,其特征在于,所述读取头为光学读取头,所述高度标记为光学尺。
8.根据权利要求3所述的高度分析设备,其特征在于,所述读取头为磁性读取头,所述高度标记为磁性尺。
9.根据权利要求3所述的高度分析设备,其特征在于,所述切换开关电学耦接于所述读取头。
10.根据权利要求1所述的高度分析设备,其特征在于,所述切换开关电学耦接于所述驱动模块。
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