[实用新型]一种真空计

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及力敏传感器领域，尤其是涉及到用于真空探测的一种真空计。

(二)背景技术

力敏传感器就是探测力的传感器，利用材料的物理性质在力的作用下发生变化的现象而制备。力敏传感器是使用最广泛的一种传感器，它是检测气体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称，也包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真空计。传统的测量方法是利用弹性元件的形变和位移来表示，随着微电子技术的发展，利用半导体材料的压阻效应研制出半导体力敏传感器，具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点。随着新材料的不断发展，力敏传感器进一步发展成基于压电材料、磁致伸缩材料等材料。对于真空计而言，高真空的探测有一定的难度，因此，高真空的真空计普遍比较昂贵。

(三)发明内容

本实用新型提供一种真空计，把气压差转换为力，通过力对电阻的影响间接探测出真空，适于高真空的探测，且成本低。本实用新型所采取的技术方案为，一种真空计，包括真空密闭室、气体、密封胶、力敏感层、检测电路，其中，力敏感层与真空密闭室相连接，通过密封胶密封；真空密闭室内填充有1-5个大气压的气体；检测电路与力敏感层相连接；力敏感层可以为金属或者半导体材料。

本实用新型的有益效果是：利用真空密闭室内外的气压差实现真空的探测，外界真空越高，所测得的信号越大，适于高真空探测，原理简单，成本低。

(四)附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1、真空密闭室，2、气体，3、密封胶，4、力敏感层，5、检测电路

(五)具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图，真空密闭室1、气体2、密封胶3、力敏感层4、检测电路5，其中，力敏感层4与真空密闭室1相连接，通过密封胶3密封；真空密闭室1内填充有1-5个大气压的气体；检测电路5与力敏感层4相连接；力敏感层4可以为金属或者半导体材料。力敏感层4可以利用金属的形变效应或半导体材料的压阻效应实现力的探测。比如：力敏感层4选半导体硅。利用真空密闭室1内外的气压差实现真空的探测，外界真空越高，所测得的信号越大，适于高真空探测，原理简单，成本低。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。