[实用新型]抛光垫修整头和具有该抛光垫修整头的抛光垫修整器

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学机械抛光领域，特别涉及一种抛光垫修整头和具有该抛光垫修整头的抛光垫修整器。

背景技术

化学机械抛光设备中，抛光垫在使用一段时间后，随着自身的磨损以及磨屑对抛光垫表面微孔的填充，抛光垫表面变得平滑，形成釉化层，使抛光垫存储、输送磨料的能力降低，导致材料去除率和抛光表面质量下降。通过修整头上金刚石盘对抛光垫进行适当的修整，可去除釉化层以及抛光垫上的磨屑，提高抛光垫粗糙度及其使用寿命，降低成本，保证抛光一致性。修整头带动金刚石盘下压与抛光垫接触，并带动金刚石盘旋转，金刚石盘在与抛光垫接触并旋转的过程中对抛光垫进行修整。

已有的抛光垫修整头的自适应性结构较为复杂，产生下压运动的腔体与自适应结构是分离独立的，需要增加额外的零件来实现。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种可以使修正盘与抛光垫完全面面贴合的抛光垫修整头。

本实用新型的另一个目的在于提出一种具有所述抛光垫修整头的抛光垫修整器。

为实现上述目的，根据本实用新型的第一方面提出一种抛光垫修整头，所述抛光垫修整头包括：环形固定件；导向轴，所述导向轴的上端穿过所述环形固定件，其中所述导线轴内设有第一通气孔，所述第一通气孔的第一端和第二端均与外界连通；环形安装件；柔性环，所述柔性环的内端密封地设在所述环形固定件上且所述柔性环的外端密封地设在所述环形安装件上；环形弹性盘，所述环形弹性盘的内端密封地设在所述导向轴上且所述环形弹性盘的外端密封地设在所述环形安装件上，其中所述导向轴、所述环形固定件、所述柔性环、所述环形安装件和所述环形弹性盘之间限定出密闭腔，所述密闭腔通过所述第一通气孔与外界连通；和夹持盘，所述夹持盘固定在所述环形安装件的下表面上且通过球铰链与所述导向轴的下端相连，其中所述球铰链的球部设在所述夹持盘的上表面上且所述球铰链的杆部与所述导向轴的下端相连。

在夹持在所述夹持盘的下表面上的修整盘与所述抛光垫接触后，所述环形弹性盘可以产生弹性变形，从而可以使所述修整盘的下表面与所述抛光垫的表面贴合的更加紧密。根据本实用新型的抛光垫修整头通过设置所述球铰链，从而在对所述抛光垫进行修整时可以使所述夹持盘和所述修整盘绕所述球铰链的球部滑动，这样可以使所述修整盘的下表面与抛光垫的表面完全贴合，大大地提高修整效果。换言之，所述抛光垫修整头通过设置所述球铰链，可以使所述修整盘具有自适应性，从而可以更好地对所述抛光垫进行修整。因此，通过利用根据本实用新型的抛光垫修整头，可以大大地提高修整效果。

另外，根据本实用新型的抛光垫修整头还可以具有如下附加的技术特征：

所述环形固定件为法兰盘。

所述抛光垫修整头还包括第一环形压盘和环形防护盖，其中所述第一环形压盘压在所述柔性环的内端上且固定在所述环形固定件上，所述环形防护盖压在所述柔性环的外端上且固定在所述环形安装件上。这样不仅可以更加容易地将所述柔性环的内端密封地设在所述环形固定件上且将所述柔性环的外端密封地设在所述环形安装件上，而且可以大大地提高所述柔性环的内端与所述环形固定件之间的密封性以及所述柔性环的外端与所述环形安装件之间的密封性。

所述抛光垫修整头还包括第一密封圈，所述第一密封圈设在所述环形防护盖与所述环形安装件之间且位于所述柔性环的外端的外侧。通过设置所述第一密封圈，可以进一步地提高所述密闭腔的密封性。

所述环形弹性盘为碟形件，这样可以使所述环形弹性盘具有更大的弹性。

所述抛光垫修整头还包括第二环形压盘，所述第二环形压盘压在所述环形弹性盘的外端上且固定在所述环形安装件上。这样不仅可以更加容易地将所述环形弹性盘的外端密封地设在所述环形安装件上，而且可以大大地提高所述环形弹性盘的外端与所述环形安装件之间的密封性。

所述导向轴的下表面上设有螺纹孔，所述杆部设有外螺纹，其中所述杆部螺纹配合在所述螺纹孔内。这样可以容易地、稳定地将所述杆部与所述导向轴的下端相连。

所述环形弹性盘的内端密封地设在所述导向轴的下表面上，所述球部包括彼此相连的圆柱段和球头，所述杆部设在所述圆柱段上且所述球头设在所述夹持盘的上表面上，其中所述螺纹孔的长度与所述杆部的长度适配以便所述圆柱段压在所述环形弹性盘的内端上。这样不仅可以更加容易地将所述环形弹性盘的内端密封地设在所述导向轴的下表面上，而且可以大大地提高所述环形弹性盘的内端与所述导向轴的下表面之间的密封性。