[实用新型]真空充气燃料炉

说明书

技术领域

本实用新型属于晶体材料生产领域，尤其是指一种真空充气燃料炉。

背景技术

烧结炉主要应用在钢铁行业、冶金行业、电子行业等。是一种在高温下，使陶瓷生坯固体颗粒的相互键联，晶粒长大，空隙和晶界渐趋减少，通过物质的传递，其总体积收缩，密度增加，最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体的炉具。在对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结时，普通烧结炉难以生长出符合标准的晶体，成品率低。

发明内容

本实用新型提供一种真空充气燃料炉，以解决难熔物质晶体生长成品率低的问题。

本实用新型的技术方案是：电极与烧料炉内部固定连接，烧料炉与炉架固定连接，高真空管道一端与烧料炉下端固定连接，高真空管道另一端通过扩散泵进口法兰与扩散泵固定连接，扩散泵通过扩散泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道通过罗茨泵进口法兰与罗茨泵固定连接，罗茨泵通过罗茨泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道与牵引电磁铁固定连接，牵引电磁铁通过泵阀连接件与机械泵固定连接，空气阀与高真空管道固定连接，真空蝶阀安装在高真空管道中部，压力真空表与高真空管道固定连接。

本实用新型的优点在于：结构新颖，使晶体生长在真空系统中进行，保证了晶体的成品率，提高了难熔性物质的结晶质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

电极17与烧料炉1内部固定连接，烧料炉1与炉架5 固定连接，高真空管道6一端与烧料炉1下端固定连接，高真空管道6另一端通过扩散泵进口法兰10与扩散泵2固定连接，扩散泵2通过扩散泵出口法兰11与低真空管道7固定连接，低真空管道7通过罗茨泵进口法兰12与罗茨泵3固定连接，罗茨泵3通过罗茨泵出口法兰13与低真空管道7固定连接，低真空管道7与牵引电磁铁9固定连接，牵引电磁铁9通过泵阀连接件8与机械泵4固定连接，空气阀14与高真空管道6固定连接，真空蝶阀16安装在高真空管道6中部，压力真空表15与高真空管道6固定连接。