[实用新型]一种带有死角循环冷却的单晶炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉，尤其涉及一种带有死角循环冷却的单晶炉，主要用于生产单晶。 

背景技术

随着单晶技术的不断提高和市场对单晶的尺寸要求加大，生产单晶的容器(坩埚)也要加大，这样对单晶炉内堂空间也要进行改进。目前最大的单晶炉直径在650cm，以前的坩埚直径却在120cm左右，而现在的坩埚直径根据单晶炉的直径增大而增大到150cm左右，这样一来电源的功率也随之加大，由于电源功能加大之后，炉内死角部分和顶部温度很高，一般在90°以上，严重危害单晶炉生产寿命。 

实用新型内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型提供了一种能将炉内死角部分和顶部分的温度快速下降、能提高单晶炉的使用寿命的一种带有死角循环冷却的单晶炉。 

本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现： 

一种带有死角循环冷却的单晶炉，包括炉体，其特征在于：所述的炉体开有一安装不锈钢门的门框，炉体顶端内部与炉体侧面内部的拐角处设有一循环冷却水槽。 

所述不锈钢门与门框之间设有循环冷却水槽，所述循环冷却水槽的长度与不锈钢门的高度一致。 

所述炉体采用双层不锈钢钢板制成，其中间部分则形成一个循环冷却水槽。 

本实用新型的有益效果是：能将炉内死角部分和顶部分的温度快速下降、能提高单晶炉的使用寿命。 

附图说明

图1为本实用新型结构示意图； 

图2为本实用新型炉体顶部的循环冷却水槽结构放大图； 

图3为本实用新型循环冷却水槽的剖面结构示意图； 

图4为本实用新型不锈钢门与门框侧面结构放大图。 

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。 

如图1-4所示，一种带有死角循环冷却的单晶炉，炉体1开有一安装不锈钢门2的门框3，炉体1顶端内部与炉体1侧面内部的拐角处设有一循环冷却水槽4。 

不锈钢门2与门框3之间设有循环冷却水槽5，循环冷却水槽5的长度与不锈钢门2的高度一致。 

炉体1采用双层不锈钢钢板制成，其中间部分则形成一个循环冷却水槽6。 

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。