[实用新型]动态气体校准仪

权利要求书

1.一种动态气体校准仪，其特征在于，包括标气质量流量控制器、零气质量流量控制器、混合室以及输出多支管；所述标气质量流量控制器一端通过标气管路与所述混合室连接，所述零气质量流量控制器通过零气管路与所述混合室连接，所述混合室用于供标准气体和零气进行混合，得到校准气体，所述输出多支管与所述混合室连接，将所述校准气体分为两路，一路排空使气压接近大气压，另一路通入监测仪，供监测仪进行校准。

2.根据权利要求1所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述动态气体校准仪还包括电磁阀；所述标气质量流量控制器另一端连接有所述电磁阀，所述零气质量流量控制器另一端连接有所述电池阀。

3.根据权利要求2所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述标气质量流量控制器另一端连接多个电磁阀，所述多个电磁阀分别用于控制一种标准气体。

4.根据权利要求2所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述动态气体校准仪还包括臭氧发生器以及可换向电磁阀；所述可换向电磁阀设置在所述标气管路上，所述臭氧发生器两端通过管路分别与所述零气质量流量控制器和可换向电磁阀连接，所述电磁阀还设置在所述臭氧发生器与所述零气质量流量控制器之间。

5.根据权利要求4所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述臭氧发生器包括壳体以及所述壳体上的紫外灯、加热棒以及温度传感器。

6.根据权利要求4所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述动态气体校准仪还包括反应室，所述反应室通过管路与所述可换向电磁阀和混合室连接。

7.根据权利要求1所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述动态气体校准仪还包括反向压力调节器，所述压力调节器设置在所述零气管路上，监测零气管路中的气体压力，对气体压力进行调节，使气体压力稳定在设定值。

8.根据权利要求4所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述动态气体校准仪还包括控制器，所述控制器与所述标气质量流量控制器、零气质量流量控制器、电磁阀、可换向电磁阀以及臭氧发生器均连接，进行各项控制。

9.根据权利要求8所述的动态气体校准仪，其特征在于，所述动态气体校准仪还包括与所述控制器连接，用于显示各种数据的显示器。