[实用新型]红外线检测元件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检测红外线的红外线检测元件。 

背景技术

作为实现红外线的吸收率提高的红外线受光元件，已知下述技术：在受光部的红外线入射侧的表面上形成将多个凸起以固定的间隔排列而构成的凸状图案，使红外线的反射减少（例如参照专利文献1）。 

专利文献1：日本专利公开2006－226891号公报 

实用新型内容

在上述红外线检测元件中，通过将凸起增高可以使红外线的吸收率提高。但是，在该情况下，由于凸起的体积增加，热容量增加，因此存在作为红外线检测元件的热时间常数变大，响应速度变慢的问题。 

本实用新型要解决的课题，就是提供一种红外线检测元件，其可以维持响应速度，并且使红外线的吸收率提高。 

本实用新型为了解决上述课题，提供一种红外线检测元件，其具有吸收红外线的红外线吸收部，其特征在于，红外线吸收部具有：第1吸收部，其具有使红外线入射的入射面；以及多个第2吸收部，它们分别由直立设置在第1吸收部的入射面上的凸起构成，在前述凸起的根部形成凹状的凹陷部。 

根据本实用新型，由于不会使凸起的体积增加，可以利用光的衍射现象将红外线封闭在凹陷部内，因此可以维持响应速度，并且使红外线的吸收率提高。 

附图说明

图1A是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的俯视图。 

图1B是沿图1A的IB-IB线的剖面图。 

图2是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线吸收部的斜视图。 

图3是沿图2的Ⅲ-Ⅲ线的剖面图。 

图4是表示本实用新型的第1实施方式中的第2吸收部的布局的一个例子的俯视图。 

图5是表示本实用新型的第1实施方式中的第2吸收部的布局的其他例子的俯视图。 

图6表示本实用新型的第1实施方式中的第2吸收部的布局的其他例子的俯视图。 

图7A是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7B是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7C是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7D是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7E是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7F是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7G是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7H是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7I是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7J是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7K是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7L是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7M是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7N是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图7O是表示本实用新型的第1实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图8是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的剖面图。 

图9是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线吸收部的剖面图。 

图10A是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图10B是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图10C是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图10D是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图10E是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图10F是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。 

图10G是表示本实用新型的第2实施方式中的红外线检测元件的制造工序的剖面图。