[实用新型]一种电镀镍边缘屏蔽装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电镀镍边缘屏蔽装置。

背景技术

现有技术中，靶材在电镀过程中，镀层边缘镍沉积速度一般为其他区域的2-3倍，为保持镀层厚度的均匀性，一般要将边缘部分切除4-5mm，这样不仅造成镀层材料的浪费，更重要的是造成了靶材的浪费，特别是对于In、Ga等贵重合金靶材边料的切除损失非常大。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种电镀镍边缘屏蔽装置。

本实用新型内容是通过以下技术方案实现的：

本实用新型包括传动导电辊（1）、屏蔽器（3）、卡槽（4）、弹簧（5）、电镀液（6）、电镀槽壁（7）。其特征在于：电镀槽内设有两个屏蔽器（3），用弹簧（5）将屏蔽器（3）与电镀槽壁（7）连接，屏蔽器（3）内设有卡槽（4），电镀槽内设有两个传动导电辊（1），电镀液（6）置于电镀槽中。

所述的屏蔽器（3）为开口卡槽型，卡槽（4）的材质为pvc板，卡槽的高度为靶材厚度与预期镍镀层厚度的2倍之和，卡槽（4）的长度为两传动导电辊（1）间距的2/3。

所述的弹簧（5）的材质为普通弹簧，弹性系数为0.5N/mm。

本实用新型的有益效果是：

靶材在电镀过程采用屏蔽装置，镍镀层边缘厚度为其他区域的1.5倍左右，边料切除量相比以前减少60%，大大提高了材料的利用率。本实用新型保持了镀层厚度的均匀性，降低了镀层边缘镍沉积速度，从而减少了靶材余料的浪费，节约了成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1的3所示局部放大图。

图1和图2中所示：1、传动导电辊；2、靶材；3、屏蔽器；4、卡槽；5、弹簧；6、电镀液；7、电镀槽壁。

具体实施方式

如图1和图2中所示，本实用新型包括传动导电辊1、屏蔽器3、卡槽4、弹簧5、电镀液6、电镀槽壁7。其特征在于：电镀槽内设有两个屏蔽器3，用弹簧5将屏蔽器3与电镀槽壁7连接，屏蔽器3内设有卡槽4，电镀槽内设有两个传动导电辊1，电镀液6置于电镀槽中。屏蔽器3为开口卡槽型，卡槽4的材质为pvc板，卡槽的高度为靶材厚度与预期镍镀层厚度的2倍之和，卡槽4的长度为两传动导电辊间距的2/3，靶材2边缘部分在卡槽3内。工作状态下，靶材2边缘随传动导电辊1运动，在运动过程中经过卡槽4内部，卡槽4起到提高电镀液中镍离子的运动路程的作用，弹簧5起到防止靶材偏移从而导致卡槽失效的作用，采用此装置降低了靶材边缘附近的镍离子浓度，从而降低镍沉积速度。