[实用新型]一种大功率全固态紫外激光装置

权利要求书

1.一种大功率全固态紫外激光装置，沿光路依次包括：基频激光输出模块(101、201、202)、Q开关(102、204)、二倍频非线性光学晶体(104、206)、准直聚焦模块(105、207)、四倍频非线性光学晶体(106、208)和分光模块(107、209)，所述基频激光输出模块(101、201、202)的激光晶体为Nd:YAG激光晶体，所述基频激光输出模块(101、201、202)的通光端面镀有基频光波段增透膜，所述基频光波段为1112至1123nm波段。

2.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述全固态紫外激光装置还包括用于从1112、1116和1123nm这三种基频光中选出所需的一种基频光的选频模块(103、205)。

3.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述二倍频非线性光学晶体(104、206)位于基频光谐振腔内。

4.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述基频激光输出模块有两个，所述两个基频激光输出模块(201、202)采用串联结构，所述两个基频激光输出模块(201、202)之间设置热效应补偿模块(203)。

5.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述全固态紫外激光装置的光路成“F”型折叠腔结构，其中基频激光输出模块(201、202)和Q开关(204)处在“F”型折叠腔结构的中间横向支路，二倍频非线性光学晶体(206)处在“F”型折叠腔的下端尾部且纵向放置，准直聚焦模块(207)和四倍频非线性光学晶体(208)处在“F”型折叠腔的上端横向支路，所述“F”型折叠腔的中间横向支路的右端设置镀有基频光反射膜的一个基频光腔镜(210)，所述二倍频非线性光学晶体(206)的下端设置同时镀有基频光反射膜和倍频光反射膜的另一个基频光腔镜(211)，所述Q开关(204)与二倍频非线性光学晶体(206)之间设置二向色镜(212)，所述二向色镜(212)反射基频光且透射倍频光，所述二向色镜(212)与准直聚焦模块(207)之间设置倍频光高反镜(213)。

6.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述二倍频非线性光学晶体(104、206)是I类相位匹配的KTP、LBO或BBO晶体；或者是II类相位匹配的KTP、LBO或BBO晶体。

7.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述四倍频非线性光学晶体(106、208)是I类相位匹配的LBO、BBO、CBO或CLBO晶体；或者是II类相位匹配的LBO、BBO、CBO或CLBO晶体。

8.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述四倍频非线性光学晶体(106、208)位于基频光谐振腔外。

9.根据权利要求1所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述分光模块(107、209)是分光棱镜或二向色镜。

10.根据权利要求2所述的全固态紫外激光装置，其特征在于，所述选频模块(103、205)是色散棱镜、光栅或法布里-珀罗标准具。