[实用新型]一种用于硅铸锭炉的气体导流装置

权利要求书

1.一种用于硅铸锭炉的气体导流装置，其特征在于，包括：至少两根连接杆、导流通道和挡流面板，其中，所述连接杆的一端设在所述硅铸锭炉的炉顶，另一端固定在所述挡流面板上；所述导流通道的一端贯穿所述挡流面板，另一端与设在所述硅铸锭炉的炉顶的导气口连通；所述挡流面板设在所述硅铸锭炉内石英坩埚中硅料的上方，所述挡流面板在底部的边沿所围成形状与所述石英坩埚的横截面的形状相适应，且所述挡流面板在底部的边沿所在的四周侧面与所述石英坩埚的四周侧壁面之间留有2～250mm的缝隙。

2.如权利要求1所述的用于硅铸锭炉的气体导流装置，其特征在于，所述连接杆设在所述硅铸锭炉的炉顶的一端与升降机构相连，所述导流通道由两个嵌套的同轴圆柱形管构成，所述挡流面板位于所述硅铸锭炉内石英坩埚中硅料上方3～20cm处。

3.如权利要求1或2所述的用于硅铸锭炉的气体导流装置，其特征在于，所述挡流面板上分布有若干开孔。

4.如权利要求1或2所述的用于硅铸锭炉的气体导流装置，其特征在于，所述导流通道的一端贯穿所述挡流面板的中心。

5.如权利要求1或2所述的用于硅铸锭炉的气体导流装置，其特征在于，所述连接杆通过螺纹或销钉固定在所述挡流面板上。