[实用新型]二平动长行程并联精密定位平台

权利要求书

1.一种二平动长行程并联精密定位平台，其特征在于：包括控制器、基座、固定于基座上的其间通过隔板固定的两层柔顺机构板、设置于上层柔顺机构板的中央的输出平台、与所述控制器信号连接并分别与所述两层柔顺机构板连接的两个音圈电机，以及与所述控制器信号连接并与所述基座连接的两个位移传感器。

2.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于，每层柔顺机构板包括两个平行设置的分体，每一分体均由三个并排设置的复合板簧片式柔性铰链组成；该三个柔性铰链分别包括四个U型柔性板簧片，其中，位于两端的柔性铰链的柔性板簧片开口相对，位于中间的柔性铰链的柔性板簧片的开口朝向所述输出平台；每一分体的中间的柔性铰链上固定一个连接所述U型柔性板簧片的开口两端的连杆。

3.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述两层柔顺机构板的底部和基座之间设有四个垫片。

4.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述两个音圈电机的动子分别通过连接头连接两层柔顺机构板，与下层柔顺机构板连接的音圈电机的定子通过一个电机支架与基座连接，用于驱动下层柔顺机构板；与上层柔顺机构板连接的另一个音圈电机通过一个电机支架和设置于电机支架底部的一块垫板与基座连接，用于驱动上层柔顺机构板。

5.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述每个位移传感器通过一块定位板与基座相连。

6.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述两个位移传感器的探头分别与所述两层柔顺机构板之间的隔板的两个相邻侧面相对，并保持测量距离。

7.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述控制器包括设有USB或RS232串口的计算机、与该计算机相连接的D/A数模转换器及与D/A数模转换器信号连接的两个音圈电机驱动器，该两个音圈电机驱动器分别与所述两个音圈电机连接。

8.根据权利要求1所述的定位平台，其特征在于： 所述位移传感器为激光位移传感器。