[实用新型]膜材翘曲量测装置

权利要求书

1.一种膜材翘曲量测装置，其特征在于包含：

平坦基台，其上表面的表面积大于待测膜材的表面积；及

复数个突出微结构，均匀分布于该平坦基台的上表面，其中该复数个突出微结构具有相同高度且各具有平坦的顶表面。

2.如权利要求1所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该复数个突出微结构为不连续重复单元。

3.如权利要求2所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该不连续重复单元的宽度相同。

4.如权利要求3所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该不连续重复单元的宽度小于1mm。

5.如权利要求2所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该不连续重复单元间具有间隔，且该间隔的宽度相同。

6.如权利要求5所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该不连续重复单元的间隔宽度介于1μm至1mm之间。

7.如权利要求1所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该顶表面具有顶表面积，且该复数个突出微结构的顶表面积总和小于该平坦基台上表面的表面积。

8.如权利要求1所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该平坦基台为金属平坦基台或导电高分子平坦基台。 

9.如权利要求1所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该复数个突出微结构包含涂层,该涂层位于该复数个突出微结构的表面。

10.如权利要求9所述的膜材翘曲量测装置，其特征在于该涂层包含金属层或导电高分子层。