[实用新型]蓝光光盘旋涂设备

权利要求书

1.一种蓝光光盘旋涂设备，其特征在于，包括：

驱动机构；

旋涂机构，所述旋涂机构与所述驱动机构的输出轴连接，所述驱动机构驱动所述旋涂机构对蓝光光盘进行旋涂以形成覆盖层；

检测机构，所述检测机构设置于所述蓝光光盘生产线上，用于实时地检测覆盖层的实际厚度；及

控制机构，所述控制机构与所述检测机构、所述驱动机构均电连接，所述控制机构根据所述检测机构检测到的覆盖层的实际厚度，实时地调整并控制所述驱动机构修复旋涂工艺参数。

2.如权利要求1所述的蓝光光盘旋涂设备，其特征在于，所述控制机构包括：

膜厚设定单元，所述膜厚设定单元用于预设覆盖层的厚度；

运算单元，所述运算单元用于将覆盖层的实际厚度与预设厚度进行对比运算，以得出实时地控制参数；及

通信单元，所述通信单元与所述检测机构、所述驱动机构均电连接，所述通信单元用于将检测机构检测到的覆盖层的实际厚度传输到所述运算单元，并将所述运算单元运算得出的控制参数传输到所述驱动机构。

3.如权利要求1所述的蓝光光盘旋涂设备，其特征在于：所述驱动机构为响应电机。

4.如权利要求1所述的蓝光光盘旋涂设备，其特征在于：所述检测机构为在线扫描仪。

5.如权利要求1所述的蓝光光盘旋涂设备，其特征在于：所述旋涂机构包括旋涂碗及下料手，所述旋涂碗与所述驱动机构的输出轴连接，所述驱动机构驱动所述旋涂碗旋转。