[实用新型]一种无接触式传送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种显影机组件，尤其涉及一种用于显影机的无接触式传送装置。

背景技术

在PCB板或PCB掩膜板加工过程中，需要用到显影机，显影机的主要作用是将曝光后的图形区域显露出来，从而进行下一步操作。作为重要的一个环节，显影质量的好坏对最终产品的质量有很大的影响。传统显影容易出现的问题主要是显影不足或显影过度，人们一直希望通过控制一些参数来减少这些问题的发生。但在现实生产中，这一问题并不能很好的解决，其主要原因是在显影过程中，即使是同一基板，不同部分显影的程度由于各种内外部因素影响难以达到一致。

实用新型内容

由于传统的显影机传送装置均为滚轮传送方式，传统传送方式的滚轮对显影液喷淋的阻挡作用易造成显影局部不均，影响显影效果，从而会影响最终产品的质量。另外，在显影过程中，滚轮与显影基板直接接触，基板上显影得到的图形区域可能会被滚轮蹭掉。针对上述技术问题，本实用新型对传统卧式显影机的传输装置进行了改进。

本实用新型提供了一种无接触式传送装置，该装置含有若干结构相同或相似的组成单元；所述组成单元由滚轴、滚轮以及齿轮构成；所述滚轴、滚轮以及齿轮的材质为金属材料或高分子材料；所述滚轴两端附近有起放置作用的空白部分；所述滚轮套在滚轴上，且位于滚轴的两端附近，在传送过程中所述滚轮不与基板曝光的图形区域接触，保证了图形在传送过程中不被蹭掉；所述滚轮的数目为两个及两个以上；所述齿轮固定于滚轴上，且位于一侧滚轮的附近或位于滚轴的终端附近。在传送过程中，由齿轮带动滚轮转动，基板置于滚轮上，基板两侧与滚轮相接触，中间区域滚轴与基板隔离开来。

本实用新型所提供的无接触式传送装置，继承了传统mask制作的显影过程中基板传送的速度稳定、不打滑的特性。更重要的是，本实用新型所提供的无接触式传送装置避免了传送时干膜与滚轮接触造成干膜脱落的可能；同时由于无接触式的设计，喷出的显影液不会出现由于滚轮的阻挡所造成的喷液不均、压力不一致的现象。此外，本实用新型所提供的无接触式传送装置不会划伤基板，不会对曝光的图形干膜有刮伤。

附图说明

图1为根据本实用新型一个实施例的传送装置传送基板的示意图；

图2为根据本实用新型一个实施例的传送装置的组成单元及组成单元的一端放大示意图；

图3为根据本实用新型一个实施例的齿轮端的示意图；以及

图4为根据本实用新型一个实施例的传送装置传送基板的示意图。

具体实施方式

以下实施例将对本实用新型的一种上喷模式的卧式单面显影机结构进行讨论。当然，本实用新型亦可用于双面显影机中。应理解，以下实施例仅是出于解释说明的目的，而非对本实用新型保护范围进行限制，因此所有可通过简单变换而得到的应用均落入本实用新型的保护范围。

本实用新型提供了一种无接触式传送装置。如图1所示，其示出了根据本实用新型一个实施例的传送装置传送基板的示意图，该装置含有若干结构相同的组成单元11。图2所示为根据本实用新型一个实施例的传送装置的组成单元11及组成单元11的一端放大示意图，所述组成单元11由滚轴a、滚轮b以及齿轮c构成。所述滚轴a材质可为不锈钢，滚轴两端附近位置有起放置作用的空白部分d。所述滚轮b及齿轮c材质可为聚丙烯。所述滚轮b的数目为4个，分为两组固定于滚轴a的两端附近。所述齿轮固定于滚轴a的终端。图3所示为根据本实用新型一个实施例的齿轮端的示意图。

图4所示为从另一角度观察根据本实用新型一个实施例的传送装置传送基板e的示意图（即与图1相对应，观察角度不同）。如图所示，在传送过程中，由齿轮c带动滚轮b转动，基板e置于滚轮b上，基板e两侧与滚轮b相接触，而中间位置的滚轴与基板e隔离一段距离，在传送时滚轮b不与基板e曝光的图形区域（即基板中间区域）接触，保证了图形在传送过程中不被蹭掉； 另外，滚轴的中间部分在不同位置上对显影液喷淋的影响效果一致，保证了显影的质量。