[实用新型]超声波清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型属于清洗设备领域，特别涉及一种用于蓝宝石晶片在单面研磨、抛光过程中的超声波清洗装置。

背景技术

超声波清洗机原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质——清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动。这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区，当声压达到一定值时，气泡迅速增大，然后突然闭合。并在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压，破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子及脱离，从而达到清洗件净化的目的。在这种被称之为“空化”效应的过程中，气泡闭合可形成几百度的高温和超过1000个气压的瞬间高压，连续不断地产生瞬间高压就象一连串小“爆炸”不断地冲击物件表面，使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面清洗净化的目的。

目前市场上使用的超声波清洗机不管是单槽的还是多槽的，在蓝宝石晶片单面研磨和抛光过程中的清洗效率都非常低。

实用新型内容

为解决上述技术中存在的蓝宝石晶片清洗过程中效率低的问题，本实用新型提出了一种清洗效率高、晶片损耗率小的超声波清洗装置。

本实用新型的技术方案是：一种超声波清洗装置，包括超声波发生器5，清洗槽2、换能器7和斜插式清洗笼。超声波发生器5设置于清洗槽2上方，换能器7位于清洗槽2的底部，超声波发生器5与换能器7通过导线电连接，斜插式清洗笼置于所述清洗槽2内，与清洗槽2固定连接。

所述斜插式清洗笼包括笼体4、支架3和挡脚6，支架3与笼体4底面成斜角，挡脚6垂直设置于支架3底部。

放置晶片的陶瓷盘8置于斜插式清洗笼内的支架3上，蓝宝石晶片用蜡粘接在陶瓷盘8上。

所述清洗槽2内装有清洗液。

所述换能器7为磁力换能器或压电换能器。

磁力换能器，由镍或镍合金等会在变化的磁场中发生变形的材料制成。压电换能器，由锆钛酸铅或其他陶瓷制成，其原理是，将压电材料放入电压变化的电场中时，它会发生变形，这就是所谓的“压电效应”。

本实用新型的工作原理如下：超声波发生器5产生高频振荡信号，换能器7将高频振荡电能信号转换成声能信号。声能达到一定强度时，清洗液在波的膨胀阶段被推开，产生气泡；而在波的压缩阶段，这些气泡就在清洗液中瞬间爆裂或内爆，因此产生冲击力，用于清洗晶片，这个过程被称作“空化作用”。

本实用新型的有益效果在于：

1、斜插式清洗笼的倾斜支架可以放置多个陶瓷盘，提高了一次清洗晶片的数量，减少设备投资成本；

2、提高产能，提高效率，降低晶片加工成本；

3、防止对蓝宝石晶片造成划伤、嗑边，减少晶片的耗损率。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型中斜插式清洗笼的立体结构示意图。

其中，1、排水阀，2、清洗槽，3、支架，4、笼体，5、超声波发生器，6、挡脚，7、换能器，8、陶瓷盘。

具体实施方式

下面结合附图和实施例具体说明本实用新型。

实施例1：

参见图1和图2，本实用新型包括超声波发生器5，清洗槽2、换能器7和斜插式清洗笼。超声波发生器5设置于清洗槽2上方，换能器7位于清洗槽2的底部，超声波发生器5与换能器7通过导线电连接，斜插式清洗笼焊接于清洗槽2内。

斜插式清洗笼包括笼体4、支架3和挡脚6，支架3与笼体4底面成斜角，挡脚6垂直设置于支架3底部。

放置晶片的陶瓷盘8置于斜插式清洗笼内的支架3上，蓝宝石晶片用蜡粘接在陶瓷盘8上。

清洗槽2内装有清洗液，

换能器7为磁力换能器。

本实用新型工作时，超声波发生器5产生高频振荡信号，换能器7将高频振荡电能信号转换成声能信号。声能达到一定强度时，清洗槽2内的清洗液在波的膨胀阶段被推开，产生气泡；而在波的压缩阶段，这些气泡就在清洗液中瞬间爆裂或内爆，因此产生冲击力，进而清洗陶瓷盘8上的晶片。

实施例2：

除以下区别外，其他同实施例1。

斜插式清洗笼通过螺钉固接于清洗槽2内。

换能器7为压电换能器。