[实用新型]多晶硅断裂强度的在线测试结构有效
| 申请号： | 201220010457.7 | 申请日： | 2012-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN202404055U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 李伟华;张卫青;周再发;刘海韵;蒋明霞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 断裂强度 在线 测试 结构 | ||
1.一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；
所述第一测试单元包括第一对固定锚区(C-C)、第一独立锚区(D)、第一多晶硅接触块(101)、第一多晶硅指针(102)和第一多晶硅膨胀条(103)，其中：第一对固定锚区(C-C)和第一独立锚区(D)分别固定在绝缘衬底上，第一多晶硅膨胀条(103)的两端分别固定在第一对固定锚区(C-C)上，第一多晶硅指针(102)的一端固定在第一多晶硅膨胀条(103)中间，另一端悬空，第一多晶硅接触块(101)位于第一多晶硅指针(102)的悬空端且固定在第一独立锚区(D)上，第一多晶硅接触块(101)、第一多晶硅指针(102)和第一多晶硅膨胀条(103)分别悬空；
第二测试单元包括第二对固定锚区(E-E)、第二独立锚区(F)、第二多晶硅接触块(201)、第二多晶硅指针(202)和第二多晶硅膨胀条(203)，其中：第二对固定锚区(E-E)和第二独立锚区(F)分别固定在绝缘衬底上，第二多晶硅膨胀条(203)的两端分别固定在第二对固定锚区(E-E)上，第二多晶硅指针(202)的一端固定在第二多晶硅膨胀条(203)中间，另一端悬空，第二多晶硅接触块(201)位于第二多晶硅指针(202)的悬空端且固定在第二独立锚区(F)上，第二多晶硅接触块(201)、第二多晶硅指针(202)和第二多晶硅膨胀条(203)分别悬空，第一多晶硅指针(102)比第二多晶硅指针(202)短；
第三测试单元包括第三对固定锚区(G-G)、第三独立锚区(H)、多晶硅驱动梁(301)和多晶硅断裂条(302)；其中：第三对固定锚区(G-G)和第三独立锚区(H)分别固定在绝缘衬底上，多晶硅驱动梁(301)的两端分别固定在第三对固定锚区(G-G)上，多晶硅断裂条(302)的一端固定在多晶硅驱动梁(301)的中间，另一端固定在第三独立锚区(H)，多晶硅驱动梁(301)和多晶硅断裂条(302)分别悬空。
2.根据权利要求1所述的多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于：所述第一多晶硅膨胀条(103)包括第一左支条(104)和第一右支条(105)，第一左支条(104)和第一右支条(105)的一端分别固定在第一对固定锚区(C-C)上，另一端相互搭接，第一右支条(105)位于第一左支条(104)之上，第一左支条(104)和第一右支条(105)上分别设有第一狭长部位(106)，第一多晶硅指针(102)固定在第一左支条(104)和第一右支条(105)搭接处，第一多晶硅接触块(101)位于第一多晶硅指针(102)的左侧。
3.根据权利要求1所述的多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于：所述第二多晶硅膨胀条(203)包括第二左支条(204)和第二右支条(205)，第二左支条(204)和第二右支条(205)的一端分别固定在第二对固定锚区(E-E)上，另一端相互搭接，第二右支条(205)位于第二左支条(204)之上，第二左支条(204)和第二右支条(205)上分别设有第二狭长部位(206)，第二多晶硅指针(202)固定在第二左支条(204)和第二右支条(205)搭接处，第二多晶硅接触块(201)位于第二多晶硅指针(202)的左侧。
4.根据权利要求2所述的多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于：所述多晶硅驱动梁(301)的两端为驱动臂(303)，驱动臂(303)分别与第三对固定锚区(G-G)相连。
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