[实用新型]光学镀膜机全自动控制装置有效
申请号: | 201220003295.4 | 申请日: | 2012-01-06 |
公开(公告)号: | CN202482429U | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 潘振强;梁铁珊 | 申请(专利权)人: | 肇庆市振华真空机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54 |
代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人: | 李永庆 |
地址: | 526060 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 镀膜 全自动 控制 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及机械生产设备技术领域,具体涉及一种光学镀膜机全自动控制装置。
技术背景
光学镀膜设备的发展在国内外已经有很长的一个发展历程,虽然光学镀膜设备的使用范围越来越广,要求也越来越高,产品涉及的领域也越来越广,特别在高端光学镜头、光学仪器的使用及分光元器件上,到目前为止在国内的光学镀膜行业还没有发展到一个比较成熟的阶段,在国内的光学发展与国外的发达国家的全自动光学设备在综合性能及使用奉命上都有一定的距离。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术的不足,提供一种结构简单、调整简便、适应性广、容易调整控制的光学镀膜机全自动控制装置。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现:
一种光学镀膜机全自动控制装置,包括机体,其特征在于:所述的机体上设有传动组件、轴承座、热电偶,所述的轴承座上设有空心轴,在所述的空心轴上设有从动齿轮,该从动齿轮与传动组件上的主动齿轮相互啮合;所述的空心轴末端连接固定有支架座,在该支架座上设有工件盘支架以及工件盘;所述的热电偶设在空心轴中心。
所述的传动组件中包括电机、传动锥齿、传动轴、安装座、主动齿轮,所述的传动锥齿分别设在电机与传动轴上并且成对啮合,传动轴设在安装座内的滚动轴承上,主动齿轮设在传动轴末端。
所述的空心轴设在轴承座内的滚动轴承上。
所述的空心轴与支架座之间通过螺钉连接固定,并可调整位置。
所述的支架座与工件盘支架之间通过螺钉连接固定。
本实用新型的有益效果在于:能够使镀膜膜层重复性好,光学性能稳定,解决人工手动操作复杂性,膜层颜色,光学性能不一致的问题,而且结构简单、调整简便、适应性广、容易调整控制。
附图说明
利用附图对本实用新型作进一步说明,但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。
图1是本实用新型示意图。
在图1中包括:
1、电机, 2、传动锥齿, 3、传动组件, 4、传动轴, 5、安装座, 6、主动齿轮, 7、热电偶, 8、从动齿轮, 9、轴承座, 10、空心轴, 11、支架座, 12、机体, 13、工件盘, 14、工件盘支架。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作详细说明。
图1中,机体12上设有传动组件3、轴承座9、热电偶7,所述的轴承座9上设有空心轴10,在所述的空心轴10上设有从动齿轮8,该从动齿轮8与传动组件3上的主动齿轮6相互啮合;所述的空心轴10末端连接固定有支架座11,在该支架座11上设有工件盘支架(14)以及工件盘13;所述的热电偶7设在空心轴10中心。
所述的传动组件3中包括电机1、传动锥齿2、传动轴4、安装座5、主动齿轮6,所述的传动锥齿2分别设在电机1与传动轴4上并且成对啮合,传动轴4设在安装座5内的滚动轴承上,主动齿轮6设在传动轴4末端。
所述的空心轴10设在轴承座9内的滚动轴承上。
所述的空心轴10与支架座11之间通过螺钉连接固定,并可调整位置。
所述的支架座11与工件盘支架14之间通过螺钉连接固定。
传动组件3上的电机1控制传动从动齿轮8动作,从动齿轮8带动空心轴10与支架座11旋转,安装在支架座11上的工件盘13同时动作使基体零件接受磁控靶溅射。
最后应当说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制,尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
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