[发明专利]一种激光加工纳米粉送粉管有效
申请号: | 201210593032.8 | 申请日: | 2012-12-31 |
公开(公告)号: | CN103014700A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C23C24/10 | 分类号: | C23C24/10;B23K26/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 加工 纳米 粉送粉管 | ||
1.一种激光加工纳米粉送粉管,其包括载流气送粉管、汇聚气管;其中,所述载流气送粉管和汇聚气管同心设置。
2.如权利要求1所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述激光加工纳米粉送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的结构。
3.如权利要求2所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构;所述凹槽结构用来容置观察板,所述观察板为一黑色塑料板,其能够从所述凹槽结构中被推入或者被推出,以便观察纳米粉末的运动状态。
4.如权利要求3所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述凹槽结构的底部具有开口,所述开口的距离小于其内部空间的宽度;所述观察板的末端具有一突起结构,用于方便将所述观察板从所述凹槽结构中推出或推入。
5.如权利要求3所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述凹槽结构的顶部设置有弹簧,所述弹簧一端固定在凹槽结构的顶部,另一端连接一表面光滑的薄板;所述薄板的下方与所述观察板在弹簧的作用力下挤压接触,从而能随时固定所述观察板的位置。
6.如权利要求2所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:在所述半圆形结构的外壁上开设有多个圆形凹槽,在所述圆形凹槽中设置纽扣型的微型振动器,所述微型振动器用于振动所述激光加工纳米粉送粉管。
7.如权利要求6所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述微型振动器由外设的可调节流稳压电源提供电力,通过调节电压的高低,来调节所述微型振动器的振动频率。
8.如权利要求6所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:通过调整载流气、汇聚气及微型振动器的频率,来调节所述激光加工纳米粉送粉管的送粉挺度和长度。
9.如权利要求5所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于,所述薄板为一塑料板。
10.一种利用如权利要求5所述的激光加工纳米粉送粉管输送纳米粉的方法,其包括:
步骤1、打开所述微型振动器,转动所述纳米粉送粉管至合适角度;
步骤2、将所述观察板从所述凹槽结构中推出,以所述观察板作为底板,观察所述纳米粉送粉管的送粉挺度及长度;
步骤3、调整载流气、汇聚气的流量及微型振动器的振动频率,以获得适合的送粉挺度或长度;
步骤4、将所述观察板推回到所述凹槽结构中。
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