[发明专利]一种激光加工纳米粉送粉管有效

专利信息
申请号: 201210593032.8 申请日: 2012-12-31
公开(公告)号: CN103014700A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: C23C24/10 分类号: C23C24/10;B23K26/34
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 加工 纳米 粉送粉管
【权利要求书】:

1.一种激光加工纳米粉送粉管,其包括载流气送粉管、汇聚气管;其中,所述载流气送粉管和汇聚气管同心设置。

2.如权利要求1所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述激光加工纳米粉送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的结构。

3.如权利要求2所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构;所述凹槽结构用来容置观察板,所述观察板为一黑色塑料板,其能够从所述凹槽结构中被推入或者被推出,以便观察纳米粉末的运动状态。

4.如权利要求3所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述凹槽结构的底部具有开口,所述开口的距离小于其内部空间的宽度;所述观察板的末端具有一突起结构,用于方便将所述观察板从所述凹槽结构中推出或推入。

5.如权利要求3所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述凹槽结构的顶部设置有弹簧,所述弹簧一端固定在凹槽结构的顶部,另一端连接一表面光滑的薄板;所述薄板的下方与所述观察板在弹簧的作用力下挤压接触,从而能随时固定所述观察板的位置。

6.如权利要求2所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:在所述半圆形结构的外壁上开设有多个圆形凹槽,在所述圆形凹槽中设置纽扣型的微型振动器,所述微型振动器用于振动所述激光加工纳米粉送粉管。

7.如权利要求6所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:所述微型振动器由外设的可调节流稳压电源提供电力,通过调节电压的高低,来调节所述微型振动器的振动频率。

8.如权利要求6所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于:通过调整载流气、汇聚气及微型振动器的频率,来调节所述激光加工纳米粉送粉管的送粉挺度和长度。

9.如权利要求5所述的激光加工纳米粉送粉管,其特征在于,所述薄板为一塑料板。

10.一种利用如权利要求5所述的激光加工纳米粉送粉管输送纳米粉的方法,其包括:

步骤1、打开所述微型振动器,转动所述纳米粉送粉管至合适角度;

步骤2、将所述观察板从所述凹槽结构中推出,以所述观察板作为底板,观察所述纳米粉送粉管的送粉挺度及长度;

步骤3、调整载流气、汇聚气的流量及微型振动器的振动频率,以获得适合的送粉挺度或长度;

步骤4、将所述观察板推回到所述凹槽结构中。

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