[发明专利]一种高压水流辅助的激光切割方法及装置有效
申请号: | 201210592666.1 | 申请日: | 2012-12-31 |
公开(公告)号: | CN103008883A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | B23K26/14 | 分类号: | B23K26/14;B23K26/38;B23K26/42 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高压 水流 辅助 激光 切割 方法 装置 | ||
1.一种高压水流辅助的激光切割方法,其包括:将激光束聚焦到切割工件上,被激光光斑照射的加工工件相应部位汽化后,使用切割高压水流将汽化后的加工工件上相应部位处的材料吹走,从而完成对切割工件的切割。
2.一种实现如权利要求1所述的激光切割方法的辅助激光切割装置,其包括:
夹持装置,其用于夹持激光头,使得激光头对准切割工件;
高压水管,其用于喷射高压水流。
3.如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述夹持装置包括横向夹持连接部,所述横向夹持连接部包括上夹持部、下夹持部;上夹持部同下夹持部结构相同,均包括左连接端、中半圆弧段、右连接端;左连接端和右连接端上均具有螺钉孔,上夹持部和下夹持部扣合并由通过左连接端和右连接端的螺钉孔的螺钉螺母固定,激光头被上夹持部和下夹持部的中半圆弧段构成的圆形结构夹紧。
4.如权利要求3所述的装置,其特征在于,所述夹持装置还包括纵向夹持连接部,所述高压水管连接于纵向夹持连接部的下端,且所述纵向夹持连接部上具有纵向滑槽;其中所述横向夹持连接部的所述上下夹持部的所述右连接端上具有横向滑槽,所述横向滑槽和所述纵向滑槽滑动配合,使得所述纵向夹持连接部带动高压水管在水平方向和竖直方向移动。
5.如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述高压水管由管身和管头构成,所述管身为一中空铜管,所述管头的上端同所述管身可拆卸连接;管头上端的内径同管身的内径相等,管头的下端开口为一窄缝,所述窄缝的长度大于管身的内径,窄缝的缝宽小于激光切割割缝的缝宽;切割时,通过调整所述高压水管的角度使得所述管头的下端同所述切割工件上表面保持平行,并使得所述窄缝同激光切割缝对准。
6.如权利要求5所述的装置,其特征在于,所述管头的上端同所述管身螺纹连接,连接后并用密封胶密封。
7.如权利要求2所述的装置,其特征在于:所述管头由紫铜整体铸造而成。
8.如权利要求2所述的装置,其特征在于:所述切割工件为不锈钢工件。
9.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述激光束为氦氖激光束。
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