[发明专利]一种获得高品质薄膜样品X射线吸收谱的方法

权利要求书

1.一种获取高品质薄膜样品X射线吸收谱的方法，其特征在于：，在薄膜样品的测量过程中，采用干式胶片曝光薄膜样品衬底所致衍射斑点后，通过铅皮遮蔽衍射斑，阻止衬底所致的衍射信号进入探测器，从而得到高品质薄膜样品X射线吸收谱。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的方法包括如下步骤：

（1）准备X射线吸收谱学探测装置的采谱前工作；

（2）对样品进行采谱，快速收集实验数据，确认是否出现明显衍射峰，若有，执行步骤（3）；

（3）在探头前放置与探头面积大小吻合的干式胶片，快速采集数据；

（4）数据采集结束后，取下干式胶片，用铅皮遮蔽衍射斑；

（5）将处理后的干式胶片重新置于探头前，重新快速扫描；

（6）观察吸收谱线是否仍出现衍射峰，若有，重复步骤（4）-（5）至吸收谱线上无衍射峰叠加时，再采集吸收谱。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的方法还进一步包括步骤（7）：若正常采谱的吸收谱线中仍出现衍射峰，将采谱区间设置在衍射峰出现的能量范围内，重复步骤（4）-（6）。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤（2）中还包括对样品偏转角度的调整。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的薄膜样品为硅衬底或蓝宝石衬底或其他单晶衬底上薄膜样品；薄膜中的被探测元素的能量范围在5-20KeV。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的铅皮厚度为0.8-1.5mm。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述的铅皮厚度为1mm。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的干式胶片为免冲洗的X-射线感光胶片，所述干式胶片由碳，氮，氧及微量的锂元素构成，有效原子序数在6-8之间，胶片厚度为100-200微米。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的步骤（3）和步骤（5）中，干式胶片与探测装置中的滤光片集成使用。