[发明专利]垂直式光波导及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种垂直式光波导及其制造方法。

背景技术

光波导作为光电元件中较为常见的元件可以有效传递光信号。目前由于脊型光波导较比平面光波导的光损耗小而被广泛使用。但是如果被制造出来的脊型光波导的脊型顶面及两侧不平整，光遇到也会被散射，从而无法将光损耗降到更低。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种有效降低光损耗的垂直式光波导及其制造方法。

一种垂直式光波导，其包括一个基底，在该基底的顶面上垂直于该顶面开设有一个第一凹槽及一个第二凹槽，该第一凹槽的延伸方向与该第二凹槽的延伸方向互相平行，该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部，该突起部上扩散有钛金属。

一种垂直式光波导的制造方法，其包括以下步骤：提供一个基底；在该基底上垂直于该基底的顶面切割出第一凹槽及第二凹槽，该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部；在该基底的顶面上涂布光阻覆盖整个基底；去掉覆盖在该突起部上的光阻；在该突起部上镀上钛膜；去掉光阻；对覆盖在突起部上的钛膜进行高温扩散形成垂直式光波导。

本发明的垂直式光波导及其制造方法，由于该第一凹槽及该第二凹槽为垂直于顶面开设，即该突起部的两侧均垂直于顶面，相对于脊型结构两侧更加平整，光遇到不容易被散射掉，提高了光的利用率。

附图说明

图1为本发明提供的垂直式光波导的结构示意图。

图2为本发明提供的垂直式光波导的制造方法的制程示意图。

图3为本发明提供的垂直式光波导的制造方法的流程图。

主要元件符号说明

垂直式光波导100基底10顶面11第一凹槽12第二凹槽13突起部14光阻20钛膜30

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施方式作进一步的详细说明。

请参阅图1，为本发明提供的垂直式光波导100，其包括一个基底10，该基底10的材料采用铌酸锂晶体。

在该基底10的顶面11上垂直于该顶面11开设有一个第一凹槽12及一个第二凹槽13，该第一凹槽12的延伸方向与该第二凹槽13的延伸方向互相平行，该第一凹槽12与该第二凹槽13之间形成一个突起部14，该突起部14上扩散有钛金属。

由于该第一凹槽12及该第二凹槽13为垂直于该顶面11开设，即该突起部14的两侧均垂直于该顶面11，相对于脊型结构两侧更加平整，光遇到不容易被散射掉，提高了光的利用率。

其中，从该基底10的顶面11到该第一凹槽12的底部的距离与从该基底10的顶面11到该第二凹槽13的底部的距离相等。其中，该基底10的顶面11到该第一凹槽12的底部的距离为越深越好。另外，该第一凹槽12与该第二凹槽13之间的距离可以根据不同种类不同光长的光具体设定，本实施方式中，采用光长小于9微米的单模光，该第一凹槽12与该第二凹槽13之间的距离为9微米。