[发明专利]一种硅片的加工夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种夹具，特别涉及一种硅片的加工夹具，属于硅片加工的技术领域。

背景技术

在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去除。

传统的去除不规则边的工序是：将硅片用胶粘合在一起，再将不规则边研磨掉。但是将硅片粘合在一起存在以下缺点：

1、尺寸研磨工序结束后，进行表面研磨工序时，要先将粘合在一起的硅片通过溶解或清洗的方法分开，从而，增加了硅片的损坏率。

2、由于硅片是通常胶粘合在一起的，虽然，通过清洗会将胶液去除，但仍会有残余的化合物留存，从而，影响硅片表面的平整度，给下道工序增加难度。

为了解决上述技术问题，近来，出现了一种夹具，该夹具包括定位夹，定位夹内设有夹紧板及锁紧螺杆，锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，使用时，将硅片排列整齐的放在空位夹内，调节锁紧螺杆，使夹紧板将硅片夹紧，该夹具解决了上述技术问题，但该夹具是通过锁紧螺杆推动夹紧板，实现硅片夹紧的，使用时，硅片与夹紧板之间没有任何缓冲，研磨过程中，容易使硅片产生损坏。

 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单的硅片的加工夹具，该夹具可避免研磨过程中，硅片的损坏。

为了解决上述技术问题，本发明一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，其中，所述夹紧板上设有弹性垫片。

上述一种硅片的加工夹具，其中，所述弹性垫片与硅片接触的面上设有滚花纹。

本发明可实现以下有益效果：

1、由于所述夹紧板上设有弹性垫片，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，夹紧板与硅片之间通过弹性垫片缓冲，避免硅片由于硬接触而损坏，提高了硅片的成品率且本发明结构简单。

2、由于所述弹性垫片与硅片接触的面上设有滚花纹，提高了夹紧板与硅片接触面的摩擦力，避免硅片由于震动松开。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

为了解决上述技术问题，本发明一种硅片的加工夹具，包括定位夹1，夹紧板2，锁紧螺杆3，定位夹1内设有夹紧板2，所述锁紧螺杆3一端插入定位夹1内，并顶在夹紧板2上，使用时，将硅片4排列整齐的放在定位夹1内，调节锁紧螺杆3，使夹紧板2将硅片4夹紧，所述夹紧板2上设有弹性垫片6，弹性垫片6通过胶粘合在夹紧板2上，也可通过其他方式安装在夹紧板2上，弹性垫片6可以是橡胶垫片，也可以是硅胶垫片，所述弹性垫片6与硅片4接触的面上设有滚花纹。定位夹1为整体构件，该整体构件设空腔5。 

这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。