[发明专利]一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统

权利要求书

1.一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，其特征在于：包括激光放电腔，所述激光放电腔内设置有一对放电电极、冷却水管、温度传感器，两放电电极之间接有电容，且电容通过导线与外部充电电源连接，所述冷却水管通过管路与一个循环水泵、一个冷凝器连接构成循环冷却水路，还包括有温度自调节电路，所述温度传感器、循环水泵及冷凝器分别接入温度自调节电路。

2.根据权利要求1所述的一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，其特征在于：所述温度自调节电路由分析比较电路和分别接入分析比较电路的信号采样电路、放大输出控制电路构成。

3.根据权利要求2所述的一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，其特征在于：所述温度传感器接入温度自调节电路中的信号采样电路。

4.根据权利要求2所述的一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，其特征在于：所述循环水泵、冷凝器分别接入温度自调节电路中的放大输出控制电路。

5.根据权利要求1所述的一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，其特征在于：所述温度自调节电路中的分析比较电路与外部上位机连接，外部上位机内设置有控制软件和含有激光工作状态及参数的数据库。