[发明专利]用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置及其方法

权利要求书

1.用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置，其特征在于：包括高频率短脉冲激光器、动态聚焦镜和扫描场镜，所述高频率短脉冲激光器是波长为266nm～1064nm、脉宽在100ps～50ns、频率在10KHz～200KHz的激光器，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有动态聚焦镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工作平台的一侧安装有吹气装置，工作平台的另一侧安装有集尘装置。

2.根据权利要求1所述的用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置，其特征在于：所述工作平台为真空吸附式工作平台。

3.权利要求1所述装置用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的方法，其特征在于：加工前激光焦点聚焦于以石墨烯为导电层材料的上表面，高频率短脉冲激光器发出的激光经光闸控制开关光，光闸控制激光光束后经过扩束镜对光束进行同轴扩束，一方面，改善光束传播的发散角，使光路准直，另一方面，对激光光束同轴扩束，使聚焦后光斑更小；扩束后的光束到达45度全反射镜，光路垂直改向，继而到达动态聚焦镜和扫描场镜，动态聚焦镜使焦点聚焦在同一焦平面上；扫描图形转化为数字信号，图形转化在工作平台上的加工材料上，蚀刻产生的粉尘由吹气装置产生气流，由集尘装置吸气收集粉尘。